[發(fā)明專利]一種鎳基上制備親水性石墨烯薄膜的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810044083.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-01-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108220912B | 公開（公告）日： | 2019-08-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李多生;鄒偉;周賢良;葉寅;葉志國;鄒愛華;饒有海;彭新元;董應(yīng)虎;洪躍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南昌航空大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C23C16/26 | 分類號(hào)： | C23C16/26;C23C16/02;C01B32/186 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 36122 | 代理人： | 張文杰 |
| 地址： | 330063 江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 碳源氣體 多晶 親水性石墨 石墨烯薄膜 氫氣 鎳箔 薄膜 化學(xué)氣相沉積 碳源氣體流量 爐內(nèi) 鎳基 制備 氬氣 二次升溫 活化處理 控制冷卻 鎳箔表面 親水性能 氫氣流量 生長(zhǎng) 抽真空 控制爐 溫度降 真空爐 放入 加熱 冷卻 清洗 拓展 | ||
1.一種在鎳基上制備親水性石墨烯薄膜的方法，特征在于，所述的方法步驟如下：
步驟1：多晶鎳箔表面清洗
采用多晶鎳箔作為金屬基底，用清洗溶液超聲清洗多晶鎳箔表面10～20min；
步驟2：表面活化處理
用表面活性劑對(duì)多晶鎳箔表面活化處理10～20min；
步驟3：化學(xué)氣相沉積
將處理后的多晶鎳箔放入真空爐中抽真空后加熱并通入氬氣；
在爐內(nèi)溫度到達(dá)800℃時(shí)通入氫氣，氫氣流量控制為100～300sccm；
在爐內(nèi)溫度到達(dá)950℃時(shí)通入碳源氣體，碳源氣體流量為2～6sccm；待石墨烯薄膜在多晶鎳箔上生長(zhǎng)5～10min后關(guān)閉氫氣與碳源氣體；
控制爐內(nèi)冷卻速率為5～15℃/min，待溫度降至700℃時(shí)二次升溫；溫度升至980℃開始通入碳源氣體，碳源氣體流量為1～4sccm；待石墨烯薄膜在多晶鎳箔上生長(zhǎng)10～20min后關(guān)閉氫氣與碳源氣體，控制冷卻速率為5～15℃/min，最終得到親水性石墨烯薄膜；
所述的清洗溶液為為氨水或鹽酸；
所述的表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉或十六烷基三甲基溴化銨；
所述的碳源氣體為甲烷、乙炔、乙烷。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
