[發(fā)明專利]銅箔基板的制作方法及由該方法制得的銅箔基板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810041790.6 | 申請日: | 2018-01-16 |
| 公開(公告)號: | CN110049636B | 公開(公告)日: | 2022-01-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 徐筱婷;何明展 | 申請(專利權(quán))人: | 鵬鼎控股(深圳)股份有限公司;宏啟勝精密電子(秦皇島)有限公司 |
| 主分類號: | H05K3/38 | 分類號: | H05K3/38;H05K1/03;H05K1/09 |
| 代理公司: | 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334 | 代理人: | 薛曉偉;饒婕 |
| 地址: | 518105 廣東省深圳市寶安區(qū)燕*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 銅箔 制作方法 法制 | ||
1.一種銅箔基板的制作方法,其包括如下步驟:
提供一基板,所述基板的材質(zhì)為液晶聚合物;
對所述基板進行表面氧化處理,以在該基板的至少一表面上形成活化官能團,所述活化官能團包括C-O、C-O-C及C-N-C中的至少一種;
通過物理氣相沉積在所述基板上形成銅鉻合金層以及氧化鉻,該銅鉻合金層以及該氧化鉻與該基板之間形成化學(xué)鍵合;
在所述銅鉻合金層以及該氧化鉻遠(yuǎn)離該基板的表面形成銅層。
2.如權(quán)利要求1所述的銅箔基板的制作方法,其特征在于:所述對所述基板進行表面氧化處理之前,還包括在所述基板上開設(shè)至少一通孔的步驟。
3.如權(quán)利要求2所述的銅箔基板的制作方法,其特征在于:所述通孔具有一孔壁,所述銅鉻合金層包括結(jié)合于所述基板至少一表面的第一銅鉻合金層及結(jié)合于所述孔壁上的第二銅鉻合金層,所述銅層包括結(jié)合于所述第一銅鉻合金層的遠(yuǎn)離基板的表面的第一銅層及結(jié)合于所述第二銅鉻合金層的遠(yuǎn)離孔壁的表面的第二銅層。
4.如權(quán)利要求1所述的銅箔基板的制作方法,其特征在于:所述活化官能團還包括含有活潑氫的官能團中的一種或幾種,該含有活潑氫的官能團為-OH、-COOH、-NH2、-NH、及-SH中的一種或幾種。
5.如權(quán)利要求1所述的銅箔基板的制作方法,其特征在于:所述銅鉻合金層中鉻的質(zhì)量百分含量范圍為2%~35%,所述銅鉻合金層的厚度范圍為0.2μm~6μm。
6.一種銅箔基板,其特征在于:該銅箔基板包括基板、結(jié)合于所述基板的銅鉻合金層及氧化鉻、及結(jié)合于該銅鉻合金層的遠(yuǎn)離基板的表面的銅層,該銅鉻合金層及該氧化鉻與該基板之間形成化學(xué)鍵合,該基板的材質(zhì)為液晶聚合物。
7.如權(quán)利要求6所述的銅箔基板,其特征在于:所述基板上開設(shè)有至少一通孔,該通孔具有一孔壁,所述銅鉻合金層包括結(jié)合于所述基板至少一表面的第一銅鉻合金層及結(jié)合于所述孔壁上的第二銅鉻合金層,所述銅層包括結(jié)合于所述第一銅鉻合金層的遠(yuǎn)離該基板的表面的第一銅層及結(jié)合于所述第二銅鉻合金層的遠(yuǎn)離孔壁的表面的第二銅層。
8.如權(quán)利要求6所述的銅箔基板,其特征在于:所述銅鉻合金層中鉻的質(zhì)量百分含量范圍為2%~35%。
9.如權(quán)利要求6所述的銅箔基板,其特征在于:所述銅鉻合金層的厚度范圍為0.2μm~6μm。
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