[發明專利]掩膜版承載設備、抽真空方法及抽真空系統

有效

• 申請號: 201810041424.0
• 申請日: 2018-01-16
• 公開（公告）號: CN108251793B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 孫樸;呂守華;黃俊杰
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 滕一斌

本發明公開了一種掩膜版承載設備、抽真空方法及抽真空系統，屬于顯示技術領域。該掩膜版承載設備包括：卡夾、夾具、固定組件和控制組件，掩膜版放置在卡夾的內部，該掩膜版通過夾具固定在卡夾的內壁上；該固定組件設置在卡夾的兩側，用于卡接卡夾，固定組件與控制組件連接，控制組件用于帶動固定組件轉動以使卡夾中的掩膜版發生轉動，轉動后的掩膜版的版面與氣流的流向平行，該氣流是對掩膜版進行抽真空作業時產生的氣流。本發明解決了相關技術中對掩膜版進行抽真空作業時氣流中的顆粒總會附著在掩膜版上而影響OLED顯示屏的質量，產品良率較低的問題，達到了提高OLED顯示屏的質量，提高產品良率的效果。本發明用于對掩膜版進行抽真空。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜版承載設備、抽真空方法及抽真空系統。

背景技術

目前，真空蒸鍍工藝是制作有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示屏的重要工藝之一，真空蒸鍍工藝是利用掩膜版通過真空蒸鍍方式在待蒸鍍基板上形成所需的圖案。而在進行真空蒸鍍工藝之前，常常需要對掩膜版進行抽真空作業。

相關技術中在對掩膜版進行抽真空作業時，先將掩膜版放置在卡夾的內部，然后將固定組件設置在卡夾的兩側，用于固定卡夾，之后，在中轉腔室中采用真空泵對掩膜版抽真空，掩膜版的版面與抽真空時產生的氣流的流向垂直。

通常中轉腔室中會存在較多微小的顆粒，由于掩膜版的版面與氣流方向垂直，且掩膜版本身設置有較多的小孔，所以當氣流通過掩膜版時，氣流中的顆粒總會附著在掩膜版上，后續在進行真空蒸鍍工藝時，附著在掩膜版上的顆粒會落在待蒸鍍基板上，從而影響OLED顯示屏的質量，產品良率較低。

發明內容

本發明實施例提供了一種掩膜版承載設備、抽真空方法及抽真空系統，可以解決相關技術中對掩膜版進行抽真空作業時氣流中的顆粒總會附著在掩膜版上而影響OLED顯示屏的質量，產品良率較低的問題。所述技術方案如下：

第一方面，提供了一種掩膜版承載設備，所述掩膜版承載設備包括：卡夾、夾具、固定組件和控制組件，

掩膜版放置在所述卡夾的內部，所述掩膜版通過所述夾具固定在所述卡夾的內壁上；

所述固定組件設置在所述卡夾的兩側，用于卡接所述卡夾，所述固定組件與所述控制組件連接，所述控制組件用于帶動所述固定組件轉動以使所述卡夾中的掩膜版發生轉動，轉動后的掩膜版的版面與氣流的流向平行，所述氣流是對所述掩膜版進行抽真空作業時產生的氣流。

可選的，所述控制組件包括承載軸和轉動部件，

所述承載軸的一端設置在所述固定組件上，另一端設置在所述轉動部件上，所述轉動部件用于控制所述承載軸帶動所述固定組件轉動，以使所述卡夾中的掩膜版的版面與所述氣流的流向平行。

可選的，所述控制組件還用于控制所述固定組件朝靠近或遠離所述卡夾的方向移動。

可選的，所述夾具包括兩個卡接件，所述兩個卡接件分別設置在所述卡夾的兩端，每個所述卡接件穿過所述卡夾的側壁與所述掩膜版接觸。

可選的，所述卡夾的內壁上設置有多對臺肩，每對所述臺肩上放置一個掩膜版，多個掩膜版的版面相互平行，

每個所述卡接件包括卡接桿和垂直設置在所述卡接桿上的多個相互平行的凸起結構，每個所述凸起結構的長度方向與任一掩膜版的版面平行，每個所述凸起結構穿過所述卡夾的側壁，凸起結構與臺肩交錯排列。

可選的，所述卡夾的一側設置有第一凸起結構，另一側設置有第一凹陷結構，

所述固定組件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件設置有與所述第一凸起結構相卡合的第二凹陷結構，所述第二固定件設置有與所述第一凹陷結構相卡合的第二凸起結構。