[發明專利]掩膜版承載設備、抽真空方法及抽真空系統

有效

• 申請號: 201810041424.0
• 申請日: 2018-01-16
• 公開（公告）號: CN108251793B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 孫樸;呂守華;黃俊杰
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 滕一斌

1.一種掩膜版承載設備，其特征在于，所述掩膜版承載設備包括：卡夾、夾具、固定組件和控制組件，

掩膜版放置在所述卡夾的內部，所述掩膜版通過所述夾具固定在所述卡夾的內壁上，所述夾具穿過所述卡夾的側壁與所述掩膜版接觸；

所述固定組件設置在所述卡夾的兩側，用于卡接所述卡夾，所述固定組件與所述控制組件連接，所述控制組件用于根據氣流的流向帶動所述固定組件轉動以使所述卡夾中的掩膜版發生轉動，轉動后的掩膜版的版面與所述氣流的流向平行，所述氣流是對所述掩膜版進行抽真空作業時產生的氣流。

2.根據權利要求1所述的掩膜版承載設備，其特征在于，所述控制組件包括承載軸和轉動部件，

所述承載軸的一端設置在所述固定組件上，另一端設置在所述轉動部件上，所述轉動部件用于控制所述承載軸帶動所述固定組件轉動，以使所述卡夾中的掩膜版的版面與所述氣流的流向平行。

3.根據權利要求1所述的掩膜版承載設備，其特征在于，所述控制組件還用于控制所述固定組件朝靠近或遠離所述卡夾的方向移動。

4.根據權利要求1所述的掩膜版承載設備，其特征在于，所述夾具包括兩個卡接件，所述兩個卡接件分別設置在所述卡夾的兩端，每個所述卡接件穿過所述卡夾的側壁與所述掩膜版接觸。

5.根據權利要求4所述的掩膜版承載設備，其特征在于，所述卡夾的內壁上設置有多對臺肩，每對所述臺肩上放置一個掩膜版，多個掩膜版的版面相互平行，

每個所述卡接件包括卡接桿和垂直設置在所述卡接桿上的多個相互平行的凸起結構，每個所述凸起結構的長度方向與任一掩膜版的版面平行，每個所述凸起結構穿過所述卡夾的側壁，凸起結構與臺肩交錯排列。

6.根據權利要求1所述的掩膜版承載設備，其特征在于，所述卡夾的一側設置有第一凸起結構，另一側設置有第一凹陷結構，

所述固定組件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件設置有與所述第一凸起結構相卡合的第二凹陷結構，所述第二固定件設置有與所述第一凹陷結構相卡合的第二凸起結構。

7.一種抽真空方法，其特征在于，所述方法包括：

將掩膜版放置在卡夾的內部；

將固定組件設置在所述卡夾的兩側，并采用夾具將所述掩膜版固定在所述卡夾的內壁上，所述夾具穿過所述卡夾的側壁與所述掩膜版接觸；

將所述固定組件與控制組件連接，并確定真空泵的氣流的流向；

通過所述控制組件根據所述氣流的流向，帶動所述固定組件轉動以使所述卡夾中的掩膜版發生轉動，轉動后的掩膜版的版面與所述氣流的流向平行；

在中轉腔室中采用所述真空泵對轉動后的掩膜版進行抽真空作業。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，在中轉腔室中采用所述真空泵對轉動后的掩膜版進行抽真空作業之后，所述方法還包括：

當所述中轉腔室的真空度達到預設真空度時，通過控制組件帶動所述固定組件轉動，使得所述掩膜版恢復至初始位置。

9.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，在所述將固定組件設置在所述卡夾的兩側之后，所述方法還包括：

通過所述控制組件控制所述固定組件朝靠近或遠離所述卡夾的方向移動。

10.一種抽真空系統，其特征在于，包括：真空泵和權利要求1至6任一所述的掩膜版承載設備，

所述真空泵的入口與所述掩膜版承載設備相對設置，用于對所述掩膜版承載設備中的掩膜版進行抽真空作業。