[發明專利]一種晶圓電鍍治具在審
| 申請號： | 201810037589.0 | 申請日： | 2018-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN108048887A | 公開（公告）日： | 2018-05-18 |
| 發明（設計）人： | 黃雷 | 申請（專利權）人： | 昆山成功環保科技有限公司 |
| 主分類號： | C25D7/12 | 分類號： | C25D7/12;C25D17/06 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 黃珩 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電鍍 | ||
1.一種晶圓電鍍治具，其特征在于，包括：
治具本體，其上設置有凹槽，所述凹槽的外形、尺寸與所述晶圓相適配，且在所述凹槽的底部設置有與外部電路相連接的彈性導電環，用于承載所述晶圓的下表面；
蓋板，其上設置有彈性墊環，當所述蓋板對所述晶圓上表面進行壓緊時形成一腔體；
在所述蓋板上設置有開口，以使得電鍍液流入所述腔體。
2.根據權利要求1所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凹槽內設置有第一環形槽，以用來放置所述彈性導電環。
3.根據權利要求2所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述彈性導電環數量為多個，同心布置。
4.根據權利要求3所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述彈性墊環與所述最外圈彈性導電環的尺寸相一致、且位置相對應。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述彈性導電環的材質為導電橡膠。
6.根據權利要求5所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述蓋板上設置有凸臺，其外形尺寸與所述凹槽相適配。
7.根據權利要求6所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凸臺上設置有外螺紋，相應地，在所述凹槽的內部上設置有與所述外螺紋相適配的內螺紋。
8.根據權利要求7所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凸臺的棱邊上設置有倒角。
9.根據權利要求7所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凸臺上設置有第二環形槽，以用來放置所述彈性墊環。
10.根據權利要求1所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述開口數量為多個，沿所述蓋板中心環形均布。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于昆山成功環保科技有限公司，未經昆山成功環保科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810037589.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種便攜式放射線測量設備
- 下一篇：一種磁選機表面抗氧化處理方法
