[發明專利]機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法

在審

• 申請號: 201810037130.0
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN110039514A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 黃寶鋒;江家安;卓家弘
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J13/00;B25J13/08;B25J15/08;B25J19/02;B25J19/04;B25J9/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

本發明涉及運送晶圓載具的機械手臂裝置的控制方法及機械手臂裝置。其中，機械手臂裝置包含：機械手臂、夾爪裝置、影像采集模塊、距離感測單元及控制模塊。夾爪裝置包含：兩個夾爪結構及活動組件。兩個夾爪結構與活動組件連接，控制模塊能控制兩個夾爪結構彼此靠近或是彼此遠離。影像采集模塊設置于夾爪裝置，影像采集模塊用以采集晶圓載具的預定范圍的影像，而能對應產生影像采集信息。距離感測單元用以感測晶圓載具的多個預定位置，而能對應產生多個距離感測信息。控制模塊能根據影像采集信息、多個距離感測信息及數據庫中的預定位置信息，對應控制夾爪裝置，以使夾爪裝置正確地取放晶圓載具。

技術領域

本發明涉及一種機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法，特別是一種運送晶圓載具的機械手臂裝置及其控制方法。

背景技術

在晶圓制作過程中，半成品的晶圓片多是設置于晶圓載具中，而晶圓載具的取放則是利用機械手臂來進行。一般來說，機械手臂會根據預定的路徑，在預定的位置夾取晶圓載具或者是將晶圓載具放置于預定的位置。但在實際應用中，機械手臂可能因為各種環境因素，例如廠內高架地板不平整或貨架輕微變形，致使機械手臂與晶圓載具或機臺設備之間的相對位置關系改變，從而無法正確地夾取或放置晶圓載具。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法，用以改善現有技術中，機械手臂在取放晶圓載具時，常會因機械手臂未正確地夾持晶圓載具而導致晶圓載具在運送過程中不穩定，或者機械手臂未正確地放置晶圓載具，而導致晶圓載具傾斜甚至傾倒的問題。

為了實現上述目的，本發明提供一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其用于在所述機械手臂裝置夾持一晶圓載具前或是將所夾持的所述晶圓載具放下前，控制所述機械手臂裝置的位置，所述控制方法包含：一影像采集步驟：利用一影像采集模塊采集所述晶圓載具的一預定范圍的影像，以對應產生一影像采集信息；一比對步驟：利用所述影像采集信息比對一晶圓盒影像信息，并據以產生一影像比對信息；一距離感測步驟：利用設置于所述機械手臂裝置的至少一距離感測單元對所述晶圓載具的至少兩個位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測信息；一校正步驟：根據所述影像比對信息及至少兩個所述距離感測信息控制所述機械手臂裝置移動，以校正所述機械手臂裝置的夾爪裝置與所述晶圓載具的至少一輔助構件之間的相對位置，據以使所述機械手臂裝置正確地夾持所述輔助構件。

優選地，在所述影像采集步驟前，還包含有一移動步驟：接收一位置信息，根據所述位置信息控制所述機械手臂裝置移動至所述晶圓載具的周圍。

優選地，所述機械手臂裝置能活動地設置于一自動導引車；在所述移動步驟中，接收所述位置信息后，將根據所述位置信息控制所述自動導引車及所述機械手臂裝置移動，以使所述自動導引車移動至設置有所述晶圓載具的一生產設備或一貨架的附近，并使所述機械手臂裝置移動至所述晶圓載具的周圍。

優選地，在所述距離感測步驟中，兩個所述距離感測單元對所述晶圓載具進行感測的兩個所述位置位于所述影像采集模塊對所述晶圓載具進行影像采集的影像采集范圍中。

優選地，在所述校正步驟中，利用所述影像比對信息、多個所述距離感測信息及所述距離感測單元對所述晶圓載具所感測到的至少兩個所述位置之間的距離來校正所述機械手臂裝置的所述夾爪裝置與所述輔助構件之間的相對位置。

優選地，在所述距離感測步驟中，利用單個所述距離感測單元先后對所述晶圓載具的至少兩個所述位置進行距離感測；在所述校正步驟中，利用所述影像比對信息、多個所述距離感測信息及單個所述距離感測單元對至少兩個所述位置先后進行距離感測時移動的距離進行校正。

優選地，在所述距離感測步驟中，利用兩個所述距離感測單元同時對所述晶圓載具的兩個所述位置進行距離感測。