[發明專利]機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法

在審

• 申請號: 201810037130.0
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN110039514A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 黃寶鋒;江家安;卓家弘
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J13/00;B25J13/08;B25J15/08;B25J19/02;B25J19/04;B25J9/16
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

1.一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，所述機械手臂裝置的控制方法用于在所述機械手臂裝置夾持一晶圓載具前或是將所夾持的所述晶圓載具放下前，控制所述機械手臂裝置的位置，所述機械手臂裝置的控制方法包含：

一影像采集步驟：利用一影像采集模塊采集所述晶圓載具的一預定范圍的影像，以對應產生一影像采集信息；

一比對步驟：利用所述影像采集信息比對一晶圓盒影像信息，并據以產生一影像比對信息；

一距離感測步驟：利用設置于所述機械手臂裝置的至少一距離感測單元對所述晶圓載具的至少兩個位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測信息；以及

一校正步驟：根據所述影像比對信息及至少兩個所述距離感測信息控制所述機械手臂裝置移動，以校正所述機械手臂裝置的夾爪裝置與所述晶圓載具的至少一輔助構件之間的相對位置，據以使所述機械手臂裝置正確地夾持所述輔助構件。

2.根據權利要求1所述的機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，在所述影像采集步驟前，還包含有一移動步驟：接收一位置信息，根據所述位置信息控制所述機械手臂裝置移動至所述晶圓載具的周圍。

3.根據權利要求2所述的機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，所述機械手臂裝置能活動地設置于一自動導引車；在所述移動步驟中，接收所述位置信息后，將根據所述位置信息控制所述自動導引車及所述機械手臂裝置移動，以使所述自動導引車移動至設置有所述晶圓載具的一生產設備或一貨架的附近，并使所述機械手臂裝置移動至所述晶圓載具的周圍。

4.根據權利要求1所述的機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，在所述距離感測步驟中，兩個所述距離感測單元對所述晶圓載具進行感測的兩個所述位置位于所述影像采集模塊對所述晶圓載具進行影像采集的影像采集范圍中。

5.根據權利要求1所述的機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，在所述校正步驟中，利用所述影像比對信息、多個所述距離感測信息及所述距離感測單元對所述晶圓載具所感測到的至少兩個所述位置之間的距離來校正所述機械手臂裝置的所述夾爪裝置與所述輔助構件之間的相對位置。

6.根據權利要求5所述的機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，在所述距離感測步驟中，利用單個所述距離感測單元先后對所述晶圓載具的至少兩個所述位置進行距離感測；在所述校正步驟中，利用所述影像比對信息、多個所述距離感測信息及單個所述距離感測單元對至少兩個所述位置先后進行距離感測時移動的距離進行校正。

7.根據權利要求2所述的機械手臂裝置的控制方法，其特征在于，在所述距離感測步驟中，利用兩個所述距離感測單元同時對所述晶圓載具的兩個所述位置進行距離感測。

8.一種機械手臂裝置，其特征在于，所述機械手臂裝置用以夾持一晶圓載具，所述機械手臂包含：

一機械手臂；

一夾爪裝置，所述夾爪裝置設置于所述機械手臂，所述夾爪裝置包含：

兩個夾爪結構；及

一活動組件，所述夾爪裝置的兩個所述夾爪結構能活動地設置于所述活動組件，所述活動組件電性連接一控制模塊，所述控制模塊能控制兩個所述夾爪結構相對于所述活動組件彼此靠近或彼此遠離；

一影像采集模塊，所述影像采集模塊用以采集所述晶圓載具的一預定范圍的影像，從而能對應產生一影像采集信息；

至少一距離感測單元，所述距離感測單元設置于所述夾爪裝置，所述距離感測單元用以感測所述晶圓載具的多個預定位置，從而能對應產生多個距離感測信息；以及

一控制模塊，所述控制模塊電性連接所述機械手臂、所述夾爪裝置、所述影像采集模塊及所述距離感測單元，所述控制模塊能根據所述影像采集信息、多個所述距離感測信息及一數據庫中的一預定位置信息對應控制所述夾爪裝置，以使所述夾爪裝置能正確地夾持所述晶圓載具。