[發明專利]等離子體源

有效

• 申請號: 201810036200.0
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN109119314B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 藤田秀樹;糸井駿
• 申請（專利權）人: 日新離子機器株式會社
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;H01J37/317
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李成必;李雪春

1.一種等離子體源，其特征在于包括：

室，呈箱狀，具有用于將在內側生成的離子或電子向外輻射的開口部；

氣體導入部，通過貫通所述室的周壁的供給通道，將氣體導入所述室內；

連接器，設置在所述周壁的與所述開口部相對的位置上；

天線，基端部與所述連接器連接，在所述室內朝向所述開口部延伸；

第一絕緣體部，覆蓋所述天線的位于所述室內的前端部側的第一部位；

第二絕緣體部，覆蓋所述天線的位于所述室內的所述基端部側的第二部位；以及

導體部，覆蓋所述第二部位而不覆蓋所述第一部位。

2.根據權利要求1所述的等離子體源，其特征在于，

所述連接器具有：

長的銷；

保持部，由絕緣體形成，保持所述銷的長邊方向的中央部；以及

筒狀部，由導電性材料形成為圓筒狀，在外壁上設置有陽螺紋部，并且在內側配置所述銷，

所述導體部為筒狀，在內壁上設置有與所述陽螺紋部螺紋連接的陰螺紋部。

3.根據權利要求1或2所述的等離子體源，其特征在于，

所述連接器在與連接所述天線的一側的相反側上連接有同軸電纜，

所述第二部位和所述導體部之間的阻抗與所述同軸電纜的內部導體和外部導體之間的阻抗相等。

4.根據權利要求1或2所述的等離子體源，其特征在于，所述第一絕緣體部具有沿所述天線的長邊方向排列的多個副絕緣體部。

5.根據權利要求1或2所述的等離子體源，其特征在于，所述等離子體源還包括嵌合構件，所述嵌合構件嵌入所述供給通道，并且所述嵌合構件具有從所述氣體導入部吸入氣體的吸入口、以及排出所吸入的所述氣體的排出口，

以從所述室的內側、面對所述供給通道的第一方向觀察時，所述排出口和所述吸入口彼此向與所述第一方向垂直的第二方向錯開。

6.根據權利要求4所述的等離子體源，其特征在于，所述等離子體源還包括嵌合構件，所述嵌合構件嵌入所述供給通道，并且所述嵌合構件具有從所述氣體導入部吸入氣體的吸入口、以及排出所吸入的所述氣體的排出口，

以從所述室的內側、面對所述供給通道的第一方向觀察時，所述排出口和所述吸入口彼此向與所述第一方向垂直的第二方向錯開。