[發(fā)明專利]棱鏡的鍍膜方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810035926.2
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN108165933A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設計）人: 肖森;黃玲玲;王忠輝
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇冠達通電子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/02
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

本發(fā)明公開了一種棱鏡的鍍膜方法，包括以下步驟：a)清洗基體；b)固定；c)蒸鍍前準備；d)鍍制；e)取件。本發(fā)明對棱鏡的表面先進行除塵除油，然后再采用真空蒸發(fā)技術(shù)對棱鏡的表面進行鍍膜，方便控制鍍膜的厚度，鍍膜效果好。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學設備領(lǐng)域，尤其涉及一種棱鏡的鍍膜方法。

背景技術(shù)

近年來,在晶體表面鍍制光學薄膜,己經(jīng)廣泛應用于各種光學薄膜器件上。棱鏡是由透明材料(如玻璃、水晶等)做成的多面體，在光學儀器中應用很廣。制作棱鏡時,為了減少反射損耗,增大透過率,需在表面沉積增透膜。

發(fā)明內(nèi)容

為克服上述缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種棱鏡的鍍膜方法。

為了達到以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種棱鏡的鍍膜方法，包括以下步驟：

a)清洗基體：采用清洗液將棱鏡欲鍍膜表面清洗干凈；

b)固定：在較亮的燈光下仔細觀察沒有污痕后放入夾具中固定，將夾具安裝在工件架上；

c)蒸鍍前準備：清理真空室，準備膜料并放置于水冷坩堝中，將水冷坩堝放置與基臺上，將基臺與工件架放入真空室內(nèi)，將真空室抽真空，加熱夾具，旋轉(zhuǎn)工件架，預熔膜料；

d)鍍制：達到要求的壓強時便可打開擋板進行蒸鍍，當膜達到需要的厚度時使用擋板擋住蒸發(fā)源，鍍制完成；

e)取件：鍍制完成后即停止加熱并關(guān)閉高壓閥門，讓樣品自然冷卻，待真空室溫度基本達到室溫時充入空氣后取出樣品進行測量。

優(yōu)選地，所述步驟a)中所述清洗液采用碳原子數(shù)為2-6的醇、碳原子數(shù)為 2-6的醚或其混合物。

優(yōu)選地，所述步驟a)中所述清洗液采用酒精和乙醚的混合液，所述酒精和乙醚的比例為1-4，所述酒精和乙醚的質(zhì)量比濃度均為80％-100％，清洗時間為 1-10分鐘。

優(yōu)選地，所述步驟c)中的所述膜料為MgF₂。

優(yōu)選地，所述步驟d)中所述壓強應低于6×10^-3Pa。

本發(fā)明的有益效果：采用上述步驟，對棱鏡的表面先進行除塵除油，然后再采用真空蒸發(fā)技術(shù)對棱鏡的表面進行鍍膜，方便控制鍍膜的厚度，鍍膜效果好。

具體實施方式

下面對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本發(fā)明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

【實施例一】

本實施例中的一種棱鏡的鍍膜方法，包括以下步驟：

a)清洗基體：采用清洗液將棱鏡欲鍍膜表面清洗干凈；

b)固定：在較亮的燈光下仔細觀察沒有污痕后放入夾具中固定，將夾具安裝在工件架上；

c)蒸鍍前準備：清理真空室，準備膜料并放置于水冷坩堝中，將水冷坩堝放置與基臺上，將基臺與工件架放入真空室內(nèi)，將真空室抽真空，加熱夾具，旋轉(zhuǎn)工件架，預熔膜料；

d)鍍制：達到要求的壓強時便可打開擋板進行蒸鍍，當膜達到需要的厚度時使用擋板擋住蒸發(fā)源，鍍制完成；

e)取件：鍍制完成后即停止加熱并關(guān)閉高壓閥門，讓樣品自然冷卻，待真空室溫度基本達到室溫時充入空氣后取出樣品進行測量。

所述步驟a)中所述清洗液采用酒精和乙醚的混合液，所述酒精和乙醚的比例為3：1，所述酒精和乙醚的質(zhì)量比濃度均為95％，清洗時間為5分鐘。

在本實施例中，所述步驟c)中的所述膜料為MgF2。