[發明專利]棱鏡的鍍膜方法在審
| 申請號： | 201810035926.2 | 申請日： | 2018-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN108165933A | 公開（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發明（設計）人： | 肖森;黃玲玲;王忠輝 | 申請（專利權）人： | 江蘇冠達通電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/02 |
| 代理公司： | 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 張歡勇 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 棱鏡 鍍膜 真空蒸發技術 鍍膜效果 除塵 除油 鍍制 取件 蒸鍍 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種棱鏡的鍍膜方法，其特征在于：包括以下步驟：
a)清洗基體：采用清洗液將棱鏡欲鍍膜表面清洗干凈；
b)固定：在較亮的燈光下仔細觀察沒有污痕后放入夾具中固定，將夾具安裝在工件架上；
c)蒸鍍前準備：清理真空室，準備膜料并放置于水冷坩堝中，將水冷坩堝放置與基臺上，將基臺與工件架放入真空室內，將真空室抽真空，加熱夾具，旋轉工件架，預熔膜料；
d)鍍制：達到要求的壓強時便可打開擋板進行蒸鍍，當膜達到需要的厚度時使用擋板擋住蒸發源，鍍制完成；
e)取件：鍍制完成后即停止加熱并關閉高壓閥門，讓樣品自然冷卻，待真空室溫度基本達到室溫時充入空氣后取出樣品進行測量。
2.根據權利要求1所述的棱鏡的鍍膜方法，其特征在于：所述步驟a)中所述清洗液采用碳原子數為2-6的醇、碳原子數為2-6的醚或其混合物。
3.根據權利要求2所述的棱鏡的鍍膜方法，其特征在于：所述步驟a)中所述清洗液采用酒精和乙醚的混合液，所述酒精和乙醚的比例為1-4，所述酒精和乙醚的質量比濃度均為80％-100％，清洗時間為1-10分鐘。
4.根據權利要求1所述的棱鏡的鍍膜方法，其特征在于：所述步驟c)中的所述膜料為MgF2。
5.根據權利要求1所述的棱鏡的鍍膜方法，其特征在于：所述步驟d)中所述壓強應低于6×10-3Pa。
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