[發明專利]一種基片固定裝置

在審

• 申請號: 201810031427.6
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN108074860A
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 劉旭;蒲春
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;張應

1.一種基片固定裝置，所述基片固定裝置包括：

由四個邊框圍成的載板，所述邊框圍成與待鍍膜區域對應的基片槽，沿所述基片槽的邊緣在所述邊框與基片相鄰的一側分別設置有對應的邊框槽，所述邊框槽用于承載所述基片；

其特征在于，至少一個邊框槽的深度小于其他邊框槽的深度。

2.根據權利要求1所述的基片固定裝置，其特征在于，所述基片固定裝置還包括壓塊，所述壓塊設置在所述基片與所述待鍍膜區域相反的一側，且所述壓塊與所述載板壓合，用于壓緊固定基片。

3.根據權利要求2所述的基片固定裝置，其特征在于，所述載板為正方形，相鄰兩個所述邊框槽深度相等，且小于其他兩個所述邊框槽深度。

4.根據權利要求2或3所述的基片固定裝置，其特征在于，所述基片固定裝置還包括彈性件，所述彈性件設置在所述基片與所述壓塊之間。

5.根據權利要求4所述的基片固定裝置，其特征在于，所述彈性件上表面與所述基片表面貼合，將所述基片壓緊在所述載板上。

6.根據權利要求5所述的基片固定裝置，其特征在于，所述彈性件包括基座、彈簧、壓柱，所述基座設置在所述壓塊上，所述壓柱與所述基片相貼，所述彈簧位于所述基座與所述壓柱之間。

7.根據權利要求6所述的基片固定裝置，其特征在于，所述壓塊上設置有安裝槽，所述基座位于所述安裝槽內。

8.根據權利要求7所述的基片固定裝置，其特征在于，所述彈性件還包括頂部設置有通孔的安裝罩，所述安裝罩扣裝在所述壓柱上，所述壓柱從所述通孔伸出并與所述基片相貼，所述安裝罩的外壁設置有外螺紋，所述安裝槽的內壁設置有內螺紋，所述安裝罩與所述安裝槽螺紋配合。

9.根據權利要求8所述的基片固定裝置，其特征在于，所述安裝罩伸入所述安裝槽的一端的端部設置有限位卡邊，所述安裝槽的內壁設置有限位卡槽，所述限位卡邊與所述限位卡槽配合。

10.根據權利要求5-9任一項所述的基片固定裝置，其特征在于，一個所述基片上設置四個彈性件，且所述彈性件以十字交叉的方式布置在所述基片的邊緣。