[發明專利]金屬膜蝕刻液組合物及利用其的導電圖案形成方法

有效

• 申請號: 201810026960.3
• 申請日: 2018-01-11
• 公開（公告）號: CN108660458B
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 金鎮成;金兌勇;梁圭亨
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: C23F1/30
• 分類號: C23F1/30
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;鐘海勝

本發明涉及一種金屬膜蝕刻液組合物及利用其的導電圖案形成方法，更詳細而言，涉及如下金屬膜蝕刻液組合物，該組合物總重量中，包含：磷酸40～60重量％；硝酸3～8重量％；乙酸5～20重量％；磷酸鹽0.1～3重量％；包含二醇系化合物和含有多個磷酸基的化合物中的至少一種的防吸附劑0.1～6重量％；及余量的水，從而有效防止經蝕刻的金屬再吸附于基板上，不損傷下部膜，并且對于蝕刻對象膜顯示優異的蝕刻特性。

技術領域

本發明涉及金屬膜蝕刻液組合物及利用其的導電圖案形成方法。

背景技術

作為平板顯示裝置的例子，可以舉出液晶顯示裝置(Liquid Crystal Displaydevice：LCD)、等離子體顯示裝置(Plasma Display Panel device：PDP)、場發射顯示裝置(Field Emission Display device：FED)、電致發光顯示裝置(ElectroluminescenceDisplay device：ELD)、有機發光顯示器(Organic Light Emitting Diodes：OLED)等，這樣的平板顯示裝置不僅在電視或錄像機等家電領域，而且在筆記本電腦之類的電腦和手機等中以各種用途使用。實際情況是，這些平板顯示裝置由于薄型化、輕量化和低耗電量等優異的性能，因此正在快速代替以往使用的布勞恩管(Cathode Ray Tube(陰極射線管)：NIT)。

特別是OLED由于元件自行發出光且在低電壓下也能驅動，因此近年來正快速應用于便攜設備、個人電腦、TV等顯示器市場。

另一方面，氧化銦錫(Indium Tin Oxide，ITO)和氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide，IZO)之類的導電性金屬對于光的透過率比較優異且具有導電性，因此廣泛用作平板顯示裝置中所使用的濾色器的電極。但是，這些金屬由于還具有高電阻，因此成為通過改善響應速度來實現平板顯示裝置的大型化和高分辨率的障礙。

此外，對于反射板的情況而言，以往主要將鋁(Al)反射板利用于制品，但為了通過提高亮度而實現低耗電，正在摸索著向反射率更高的材料變更。為此，試圖將與平板顯示裝置中所應用的金屬相比具有低電阻率和高亮度的銀(Ag)膜、銀合金膜或包含其的多層膜應用于濾色器的電極、LCD或LED配線和反射板。

然而，銀(Ag)由于與玻璃等絕緣基板或由純非晶硅或摻雜的非晶硅等形成的半導體基板等的粘接性極其不良，因此不易蒸鍍，且容易引發配線的鼓翹或剝落。此外，在銀(Ag)膜被蒸鍍于基板的情況下，為了將其圖案化會使用蝕刻液，但在使用以往的蝕刻液時，存在銀(Ag)被過度蝕刻或者被不均勻蝕刻而發生配線的鼓翹或剝落現象，且使配線的側面輪廓變得不良的問題。

韓國注冊專利第10-0579421號公開了一種銀蝕刻液組合物，但沒有提供針對上述問題的對策。

現有技術文獻

專利文獻

韓國注冊專利第10-0579421號

發明內容

所要解決的課題

本發明的一課題在于提供能夠有效防止經蝕刻的金屬再吸附于基板上的金屬膜蝕刻液組合物。

此外，本發明的一課題在于提供不損傷下部膜并且對于蝕刻對象膜顯示優異的蝕刻特性的金屬膜蝕刻液組合物。

此外，本發明的一課題在于提供利用上述金屬膜蝕刻液組合物的導電圖案形成方法。

解決課題的方法

1.一種金屬膜蝕刻液組合物，組合物總重量中，包含：磷酸40～60重量％；硝酸3～8重量％；乙酸5～20重量％；磷酸鹽0.1～3重量％；包含二醇系化合物和含有多個磷酸基的化合物中的至少一種的防吸附劑0.1～6重量％；及余量的水。