[發明專利]版圖差異的量化分析方法

在審

• 申請號: 201810024850.3
• 申請日: 2018-01-11
• 公開（公告）號: CN108170831A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 馮佳計;金曉亮;袁春雨;伍思昕
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G06F17/30
• 分類號: G06F17/30;G06T7/62;G06T7/66
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種版圖差異的量化分析方法，其特征在于，包括步驟如下：

步驟1、基于版圖差異圖形，定義并計算得到一組有關差異圖形的特征向量，作為對圖形歸類的衡量標準；

步驟2、根據不同項目所需提取相應的量化參數、或多個參量的組合，然后依據量化參數的大小排序，或根據多個參量組合中不同參量的權重組合進行排序，在版圖差異的結果中突出重要性的差異，從而達到量化分析的目的。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于：實施步驟1時，先基于差異圖形自定義一組用以表征圖形的量化參數，該量化參數包括圖形面積、有效邊長、覆蓋圖形的最小矩形的面積和圖形的重心相對覆蓋圖形的最小矩形的重心的相對位移。

3.如權利要求1或2所述的方法，其特征在于：實施步驟1時，根據不同項目，基于量化參數構建圖形的特征向量，用以圖形的歸類；如果兩個圖形的特征向量相同，則將這兩個圖形歸為一類。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于：實施步驟2時，對版圖差異報告中的圖形歸類之后，進一步提取項目所需量化參數，并計算其數值大小；確定版圖差異圖形的量化參數之后，依據量化參數的數值大小進行排序，進而知道變化因素對版圖產生的影響。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于：所述變化因素包括版圖修改、軟件版本的不同、系統升級。

6.如權利要求4所述的方法，其特征在于：若項目需要評估改版造成的線寬差異，則量化參數選擇有效邊長，所選擇的有效邊長為兩者中較大或者較小的一個，根據具體項目的具體需求而定。

7.如權利要求4所述的方法，其特征在于：若項目關心新舊版圖的面積差異，則選擇差異圖形的面積作為量化參數進行排序。

8.如權利要求4所述的方法，其特征在于：對于多次的改版，則從量化的差異結果，評估不同改版造成的影響，降低版圖修正帶來的潛在風險。