[發明專利]一種基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動識別及定量分析方法

在審

• 申請號: 201810019963.4
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN108318515A
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 李娟;何同;陸現彩;陸建軍
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 賀翔

1.一種基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動識別及定量分析方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將巖石礦物單顆粒樣品制成樹脂靶，噴碳；

(2)將樣品靶置于專用樣品臺上，且樣品表面與樣品臺上表面齊平；

(3)背散射圖像的采集，掃描電鏡參數設置，電壓15kV，光闌60Aperture，進一步在背散射模式下，增加亮度至80%-90%，對比度調整至40%-50%，獲取從灰度最暗的石英礦物到灰度最亮的鋯石礦物最佳對比度的圖像；

(4)對整個視域的單礦物進行能譜面掃描，掃描時長為一幀，獲得該幀下全部單顆粒相的能譜數據；

(5)建立土壤類樣品適用的全礦物48種能譜識別數據庫；

(6)每個樣品采集約10000個單顆粒，采集的能譜數據與所述數據庫相比較，進行單顆粒礦物相的自動識別與定量分析，將其最大化歸類，未識別目標小于100顆。

2.根據權利要求1所述的基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動識別及定量分析方法，其特征在于，所述步驟(5)為(?)確定主要特征元素種類；(Ⅱ)查詢符合礦物學標準成分；(Ⅲ)找到最優的元素比值與含量限定標準。

3.根據權利要求2所述的基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動識別及定量分析方法，其特征在于，所述步驟(Ⅲ)為先確定能譜數據中礦物的主要組成元素總量，其次對容易產生錯誤識別的雜質元素根據閾值限定方法，部分通過邏輯判斷符非來實現。

4.根據權利要求2所述的基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動識別及定量分析方法，其特征在于，所述步驟(Ⅲ)對于能譜元素成分十分接近，容易產生錯誤混淆的礦物，通過限定兩種元素含量范圍，結合兩種元素比值特征和其他元素特征，加以區分識別。