[發(fā)明專利]一種基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動(dòng)識(shí)別及定量分析方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810019963.4
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN108318515A
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李娟;何同;陸現(xiàn)彩;陸建軍
• 申請（專利權(quán)）人: 南京大學(xué)
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 賀翔

1.一種基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動(dòng)識(shí)別及定量分析方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將巖石礦物單顆粒樣品制成樹脂靶，噴碳；

(2)將樣品靶置于專用樣品臺(tái)上，且樣品表面與樣品臺(tái)上表面齊平；

(3)背散射圖像的采集，掃描電鏡參數(shù)設(shè)置，電壓15kV，光闌60Aperture，進(jìn)一步在背散射模式下，增加亮度至80%-90%，對比度調(diào)整至40%-50%，獲取從灰度最暗的石英礦物到灰度最亮的鋯石礦物最佳對比度的圖像；

(4)對整個(gè)視域的單礦物進(jìn)行能譜面掃描，掃描時(shí)長為一幀，獲得該幀下全部單顆粒相的能譜數(shù)據(jù)；

(5)建立土壤類樣品適用的全礦物48種能譜識(shí)別數(shù)據(jù)庫；

(6)每個(gè)樣品采集約10000個(gè)單顆粒，采集的能譜數(shù)據(jù)與所述數(shù)據(jù)庫相比較，進(jìn)行單顆粒礦物相的自動(dòng)識(shí)別與定量分析，將其最大化歸類，未識(shí)別目標(biāo)小于100顆。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動(dòng)識(shí)別及定量分析方法，其特征在于，所述步驟(5)為(?)確定主要特征元素種類；(Ⅱ)查詢符合礦物學(xué)標(biāo)準(zhǔn)成分；(Ⅲ)找到最優(yōu)的元素比值與含量限定標(biāo)準(zhǔn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動(dòng)識(shí)別及定量分析方法，其特征在于，所述步驟(Ⅲ)為先確定能譜數(shù)據(jù)中礦物的主要組成元素總量，其次對容易產(chǎn)生錯(cuò)誤識(shí)別的雜質(zhì)元素根據(jù)閾值限定方法，部分通過邏輯判斷符非來實(shí)現(xiàn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于掃描電鏡能譜分析的單顆粒礦物相自動(dòng)識(shí)別及定量分析方法，其特征在于，所述步驟(Ⅲ)對于能譜元素成分十分接近，容易產(chǎn)生錯(cuò)誤混淆的礦物，通過限定兩種元素含量范圍，結(jié)合兩種元素比值特征和其他元素特征，加以區(qū)分識(shí)別。