[發明專利]并行周向連續式等離子體鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201810018511.4
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN108179397B
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 郎文昌;高斌;劉偉
• 申請（專利權）人: 溫州職業技術學院
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 33258 溫州名創知識產權代理有限公司
• 代理人: 陳加利

本發明涉及一種并行周向連續式等離子體鍍膜裝置，其包括工藝腔體、回轉腔體、進料系統、真空系統、物料車，工藝腔體內設置有多組工藝組件密封板、周向分布的多組儲料腔、回轉裝置、物料引導裝置，回轉腔體設置有回轉伸縮裝置、物料傳導裝置、物料腔，進料口設置有可開合的密封門板，真空系統分別對工藝腔體與回轉腔體的組合體、進料口進行真空處理，物料車上可裝載樹形單掛物料，工藝腔體內可形成獨立真空室并獨立進行工藝處理，回轉裝置可實現物料車的傳動及自轉，回轉腔體內的物料腔可與儲料腔及進料口形成密封的獨立真空室并實現物料車傳導，進料系統可將物料取出及放入。采用上述方案，本發明可實現批量單掛物料并行連續式鍍膜生產。

技術領域

本發明屬于真空鍍膜設備技術領域，具體涉及一種并行周向連續式等離子體鍍膜裝置。

背景技術

現有的真空鍍膜設備按照真空設備中真空腔的數目可分為單體式鍍膜機及連續式鍍膜設備。

單體式鍍膜機通常是有一個真空腔體及抽氣系統組成，真空鍍膜工藝模塊裝載在腔體不同位置上，在達到所需真空度時，按順序啟用所需真空鍍膜工藝模塊，來實現材料表面的加工，單一腔體導致產品進出料時需要開關門，不能對產品進行連續生產，這會大大降低生產效率，增大人工成本，而且生產的不連續性造成實際生產中的產品差異性增大，一定程度上會影響產品質量。同時單體式鍍膜轉架在腔體內公轉，轉架往往比較大，等離子體在整個鍍膜空間的分布極其不均勻，真正鍍膜時間短，鍍膜等待時間過長，嚴重影響產品質量，鍍膜效率低。

自動連續式真空鍍膜設備是多個獨立的鍍膜腔的真空鍍膜裝置，具有連續不間斷生產、工藝穩定、生產節拍短的特點，目前大量應用于工業生產。連續式真空鍍膜設備可以大大提高生產的自動化程度，提高生產效率，提高良品率。

現有技術中的連續式真空鍍膜設備包含具有復數獨立的鍍膜腔、具有清潔緩沖腔及緩沖真空腔的緩沖真空裝置、具有前置準備腔及完成腔的準備裝置、傳送裝置及包括復數閘門的閘門單元。其工作原理是通過線性串聯多組不同的工藝處理組件，通過傳輸系統實現產品逐步的工藝過程。

連續式真空鍍膜設備結構復雜，多個獨立的鍍膜腔需要配置多個高真空泵組，大量閘門的使用，增加了生產成本、生產時間、生產空間，復雜的設備增加了待鍍工件傳動的難度，多個腔體的存在也使增加了生產過程中故障維修的難度和成本，連續式鍍膜設備的高門檻大大提高了企業的使用成本；對于一些異型尺寸的工件，連續生產時，一方面閘板尺寸限制了異形件的加工尺寸，另一方面加工過程需要大量的人力裝、卸載，成本高昂，不利于實現連續化生產。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的在于提供一種可在一個真空腔內實現對產品連續式鍍膜生產的并行周向連續式等離子體鍍膜裝置。

為實現上述目的，本發明提供了如下技術方案：其包括工藝腔體、回轉腔體、進料系統、真空系統、物料車，工藝腔體內設置有多組工藝組件密封板、周向分布的多組儲料腔、回轉裝置、物料引導裝置、進料口，回轉腔體設置有回轉伸縮裝置、物料傳導裝置、物料腔，進料口設置有可開合的密封門板，真空系統分別對工藝腔體與回轉腔體的組合體、進料口進行真空處理，物料車上裝載樹形單掛物料，工藝腔體內形成獨立真空室并獨立進行工藝處理，回轉裝置實現物料車的傳動及自轉，回轉腔體內的物料腔可與儲料腔及進料口形成密封的獨立真空室并實現物料車傳導，進料系統可將物料取出及放入。

本發明進一步設置為：所述的工藝腔體內設置有多組工藝組件密封板、周向分布的多組儲料腔、回轉裝置、物料引導裝置，所述的多組工藝組件密封板裝配有氣相沉積工藝模塊，并可與之相對的儲料腔形成獨立的真空室，從而獨立進行相應的氣相沉積工藝處理，所述的多組儲料腔裝配在回轉裝置上，所述回轉裝置可實現儲料腔的公轉及儲物腔內的物料車自轉，所述物料引導裝置裝配在儲料腔內，通過氣缸伸展推動，可實現物料車在工藝腔體及回轉腔體之間傳導。