[發明專利]基板取放設備及取放方法

有效

• 申請號: 201810011877.9
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN108082940B
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 宋立
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;B65G49/06
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 亓贏

1.一種基板取放設備，其特征在于，包括：

一承載平臺，用以承載一基板；

一伸縮裝置，包括：

一可折疊式支架，所述可折疊式支架設置于所述承載平臺上方，進行水平方向的伸縮，所述可折疊式支架伸出為展開狀態時進入所述基板的區域范圍，縮回為收起狀態時退出所述基板的區域范圍；

多個吸附結構，設置于所述可折疊式支架的底部，該些吸附結構平均分布于所述可折疊式支架于展開狀態時的區域范圍，用以吸附所述基板；

第一驅動單元，用以驅動所述可折疊式支架進行水平方向的伸縮；以及

第二驅動單元，用以驅動所述伸縮裝置進行垂直方向的升降；以及

一輸運裝置，運作于所述承載平臺與所述可折疊式支架之間，伸出時進入所述承載平臺的區域范圍，縮回時退出所述承載平臺的區域范圍。

2.如權利要求1所述的基板取放設備，其特征在于，所述承載平臺為封閉不開孔的平面結構。

3.如權利要求1所述的基板取放設備，其特征在于，所述可折疊式支架于展開狀態時為網格狀結構。

4.如權利要求1所述的基板取放設備，其特征在于，所述吸附結構為真空吸嘴。

5.如權利要求1所述的基板取放設備，其特征在于，所述第一驅動單元為馬達或油壓缸。

6.如權利要求1所述的基板取放設備，其特征在于，所述第二驅動單元為馬達或油壓缸。

7.如權利要求1所述的基板取放設備，其特征在于，所述輸運裝置為機械手臂。

8.一種基板取放設備，其特征在于，包括：

一封閉不開孔的承載平臺，用以承載一基板；

一伸縮裝置，包括：

一可折疊式支架，所述可折疊式支架設置于所述承載平臺上方，進行水平方向的伸縮，所述可折疊式支架伸出為展開狀態時進入所述基板的區域范圍，縮回為收起狀態時退出所述基板的區域范圍；

多個真空吸嘴，設置于所述可折疊式支架的底部，該些真空吸嘴平均分布于所述可折疊式支架于展開狀態時的區域范圍，用以吸附所述基板；

第一馬達，用以驅動所述可折疊式支架進行水平方向的伸縮；以及

第二馬達，用以驅動所述伸縮裝置進行垂直方向的升降；以及

一機械手臂，運作于所述承載平臺與所述可折疊式支架之間，伸出時進入所述基板的區域范圍，縮回時退出所述基板的區域范圍。

9.一種基板取放方法，其特征在于，其步驟包括：

操作一輸運裝置輸運一基板進入一承載平臺的區域范圍；

操作一第一驅動單元伸出展開一可折疊式支架于所述基板上方，所述可折疊式支架底部設置有多個吸附結構；

操作一第二驅動單元降下所述可折疊式支架使所述可折疊式支架底部的該些吸附結構貼合所述基板進行吸附；

操作所述第二驅動單元升起所述可折疊式支架，同時升起吸附于所述可折疊式支架底部的該些吸附結構的所述基板；

操作所述輸運裝置伸出所述承載平臺的區域范圍；

操作所述第二驅動單元降下所述可折疊式支架，同時降下吸附于所述可折疊式支架底部的該些吸附結構的所述基板于所述承載平臺上；

操作該些吸附結構停止吸附所述基板；

操作所述第二驅動單元升起所述可折疊式支架；以及

操作所述第一驅動單元縮回退出所述可折疊式支架于所述基板上方。

10.如權利要求9所述的基板取放方法，其特征在于，于操作所述第一驅動單元縮回退出所述可折疊式支架于所述基板上方之后，更包括以下步驟：

操作所述第一驅動單元伸出展開所述可折疊式支架于所述基板上方；

操作所述第二驅動單元降下所述可折疊式支架使所述可折疊式支架底部的該些吸附結構貼合所述基板進行吸附；

操作所述第二驅動單元升起所述可折疊式支架，同時升起吸附于所述可折疊式支架底部的該些吸附結構的所述基板；

操作所述輸運裝置伸入所述基板下方；

操作所述第二驅動單元降下所述可折疊式支架，同時降下吸附于所述可折疊式支架底部的該些吸附結構的所述基板于所述輸運裝置上；

操作該些吸附結構停止吸附所述基板；

操作所述第二驅動單元升起所述可折疊式支架；

操作所述第一驅動單元縮回所述可折疊式支架退出所述基板上方；以及

操作所述輸運裝置輸運所述基板退出承載平臺的區域范圍。