[發明專利]靶材軋制方法

在審

• 申請號: 201810011222.1
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN110000211A
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;陳金庫
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B21B3/00
• 分類號: B21B3/00;B21B45/00;B21B1/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高磊;吳敏

1.一種靶材軋制方法，其特征在于，包括：

提供靶材坯料；

將所述靶材坯料加熱至第一溫度；

在將所述靶材坯料加熱至第一溫度后，對所述靶材坯料進行壓延處理；

在所述壓延處理過程中，當所述靶材坯料溫度降低至第二溫度時，對靶材坯料進行加熱處理，將所述靶材坯料加熱至第一溫度后進行所述壓延處理；

交替進行所述加熱處理及所述壓延處理，直至將所述靶材坯料制成靶材。

2.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，所述第一溫度為850℃～950℃。

3.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，所述第二溫度為700℃～800℃。

4.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，所述加熱處理的次數大于或等于2，且小于或等于8。

5.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，單次所述壓延處理包括對所述靶材坯料進行至少兩個道次的軋制。

6.如權利要求5所述的靶材軋制方法，其特征在于，在對所述靶材坯料進行單一道次軋制后，所述靶材坯料的厚度變形率為4％～6％。

7.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，提供的所述靶材坯料的形狀為長方體，長度為100mm～400mm，寬度為50mm～300mm，高度為20mm～40mm。

8.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，對所述靶材坯料進行加熱處理的方法包括：提供恒溫爐，將所述靶材坯料放置于所述恒溫爐中加熱；在對所述靶材坯料進行加熱過程中，向所述恒溫爐內通入保護氣體。

9.如權利要求8所述的靶材軋制方法，其特征在于，所述保護氣體包括氬氣，所述氬氣的質量百分比大于或等于99.9993％。

10.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，單次所述加熱處理的時間為15min～180min。

11.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，所述靶材坯料的材料為金屬釔，所述金屬釔的純度大于或等于99.9％。

12.如權利要求1所述的靶材軋制方法，其特征在于，所述靶材坯料的材料為鋁鈧合金，所述鋁鈧合金中，鈧元素的質量百分比為5％～15％。