[發明專利]一種防著板及其清潔方法以及薄膜沉積設備在審
| 申請號： | 201810011108.9 | 申請日： | 2018-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN108149212A | 公開（公告）日： | 2018-06-12 |
| 發明（設計）人： | 張俊濤;古龍云;劉勃;王勇;陳川;殷天蘭;王海文;戴陽;李楊 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 張雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 防著板 承載膜 工藝膜 薄膜沉積設備 基板 剝離 沉積工藝條件 領域產品 清潔 良品率 最上層 閾值時 產能 多層 連帶 貼附 疊加 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種防著板，其特征在于，包括：
基板，以及
貼附于所述基板上的多層可剝離承載膜。
2.根據權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述多層可剝離承載膜可逐層剝離。
3.根據權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述多層可剝離承載膜各層間緊密貼合。
4.根據權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述可剝離承載膜包括金屬膜。
5.根據權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述可剝離承載膜包括錫紙。
6.根據權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述承載膜在所述基板外一側設有便于將承載膜從防著板表面剝離的突出部，相鄰承載膜突出部設于所述基板的不同側。
7.一種薄膜沉積設備，其特征在于，包括權利要求1-6中任一項所述的防著板。
8.一種防著板清潔方法，其特征在于，所述防著板包括基板以及貼附于所述基板上的多層可剝離承載膜，該方法包括：將所述防著板頂層的承載膜連帶其上的鍍敷材料從防著板表面剝離。
9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述承載膜在所述基板外側設有用于剝離的突出部，利用所述突出部將承載膜從防著板表面剝離。
10.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，當所述鍍敷材料鍍敷的厚度大于600微米時，將所述承載膜連帶騎上的鍍敷材料從防著板表面剝離。
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