[發明專利]有機發光顯示裝置、有機電致發光器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201810010052.5
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN108232032B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 冼偉材;鈴木浩司;張毅先;任思雨;蘇君海;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

本發明涉及一種有機發光顯示裝置、有機電致發光器件及其制備方法，所述有機電致發光器件包括：導電反射層，所述導電反射層包括依次層疊的鋁膜層、銀膜層和氧化銦錫膜層；有機發光層，所述有機發光層形成于所述氧化銦錫膜層上；陰極層，所述陰極層形成于所述有機發光層上。位于導電反射層的上層的氧化銦錫膜層能夠防止銀膜層大面積裸露在空氣中而氧化，鋁膜層具有較高的反射率，能夠提高導電反射層的反射率，有效提高有機發光器件的反射率，并有效降低器件的功耗，鋁膜層具有較高的導電率，而鋁膜層作為下層膜層可提高膜層粘附力，能夠更好地與下層的平坦化層連接。

技術領域

本發明涉及有機發光顯示制造技術領域，特別是涉及有機發光顯示裝置、有機電致發光器件及其制備方法。

背景技術

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)顯示屏具有自發光、超輕薄、響應速度快、視角寬、功耗低等優點，被認為是最具有潛力的顯示器件。AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩陣有機電致發光器件)能夠充分發揮OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)工藝簡單、發光效率高、輕薄、色彩豐富以及視角寬等諸多優點，既可以在大尺寸顯示器方面有所應有，也可以在微顯示器方面發揮潛力。

傳統的AMOLED中的有機發光器件的導電反射膜層(陽極)使用ITO(氧化銦錫)/Ag(銀)/ITO(氧化銦錫)的疊層結構，該導電反射膜層刻蝕采用濕法刻蝕的方式進行，使用HNO3/CH3COOH/H2O/H3PO4的混合溶液體系，被腐蝕的ITO膜層和Ag膜層是在溶液環境中同時發生化學反應，但該溶液對ITO膜層和Ag膜層的刻蝕選擇比高，約1:1000，而由于工藝需求下層ITO膜層無刻蝕殘留，需延長刻蝕時間，導致Ag膜層刻蝕量遠大于ITO膜層刻蝕量，Ag膜層后退嚴重。疊合膜層中處于中間位置的Ag膜層會后退，被刻蝕基板部分位置的上層ITO膜層會失去支持而塌陷，對Ag膜層的側壁起到包裹的作用，影響溶液對Ag膜層的進一步作用，而部分位置上層ITO無塌陷，Ag膜層裸露并被進一步腐蝕，所以導致基板不同位置的Ag膜層的刻蝕量不均一，刻蝕后圖形線寬均勻性差，結果宏觀表現為發光亮度不均勻，影響有機發光器件的顯示效果。

發明內容

基于此，有必要提供一種有機發光顯示裝置、有機電致發光器件及其制備方法。

一種有機電致發光器件，包括：

導電反射層，所述導電反射層包括依次層疊的鋁膜層、銀膜層和氧化銦錫膜層；

有機發光層，所述有機發光層形成于所述氧化銦錫膜層上；

陰極層，所述陰極層形成于所述有機發光層上；所述鋁膜層的厚度大于所述銀膜層的厚度及所述氧化銦錫膜層的厚度。

在其中一個實施例中，所述鋁膜層的厚度為80～120nm。

在其中一個實施例中，所述銀膜層的厚度為5～15nm。

在其中一個實施例中，所述氧化銦錫膜層的厚度為5～15nm。

一種有機電致發光器件的制備方法，包括：

制備導電反射層，所述導電反射層包括依次層疊的鋁膜層、銀膜層和氧化銦錫膜層，其中，所述鋁膜層的厚度大于所述銀膜層的厚度及所述氧化銦錫膜層的厚度；

在所述氧化銦錫膜層上形成有機發光層；

在所述有機發光層上形成陰極層。

在其中一個實施例中，所述制備導電反射層，所述導電反射層包括依次層疊的鋁膜層、銀膜層和氧化銦錫膜層步驟包括：

依次沉積形成層疊的所述鋁膜層、所述銀膜層和所述氧化銦錫膜層；