[發明專利]一種靶材刻蝕量測量裝置

有效

• 申請號: 201810007139.7
• 申請日: 2018-01-03
• 公開（公告）號: CN108180814B
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 肖亮
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B5/18
• 分類號: G01B5/18
• 代理公司: 11274 北京中博世達專利商標代理有限公司
• 代理人: 賈瑩

1.一種靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，包括采集部和測量部；

所述采集部包括測量針框架以及設置于所述測量針框架內的多排測量針；所述多排測量針的測量端用于與靶材的至少一部分刻蝕面相接觸，并按照所述至少一部分刻蝕面的形狀定型；所述多排測量針的測量端在定型后能夠擬合出的端面為與所述至少一部分刻蝕面相匹配的模擬面；

所述測量部與形成所述模擬面后的所述采集部相互對合，所述測量部用于與所述模擬面凸起尺寸最大處的測量針的測量端相接觸，并測得所述刻蝕面凹陷的最大深度。

2.根據權利要求1所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，

所述測量部包括支架以及安裝于所述支架上的測量尺；所述支架和所述測量針框架的內側設置有軌道；在采集部與所述測量部對合的情況下，所述測量尺用于沿所述支架上的軌道移動至所述測量針框架上的軌道，并與所述模擬面凸起尺寸最大處的測量針的測量端相接觸。

3.根據權利要求1所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，構成所述測量針框架和所述測量針的材料為軟磁材料；

所述測量針框架內部設置有電磁線。

4.根據權利要求1-3任一項所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述采集部還包括安裝于所述測量針框架上的振動器；所述振動器用于驅動所述測量針沿平行于該測量針橫截面的方向振動。

5.根據權利要求2所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述測量尺的側面設置有第一刻度線；所述支架靠近所述采集部的一端設置有第二刻度線；

其中，所述第一刻度線所在的表面與所述第二刻度線所在的表面平行；

所述測量針框架與所述支架對合形成的接觸面位于所述第二刻度線的零刻度；所述第一刻度線與所述第二刻度線的最小刻度值相同。

6.根據權利要求5所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述測量尺的厚度大于或等于所述靶材的厚度。

7.根據權利要求5所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述測量針框架與所述支架相對的表面設置有第一卡合結構；

所述支架與所述測量針框架相對的表面設置有與所述第一卡合結構相配合的第二卡合結構。

8.根據權利要求2所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述測量尺在靠近所述軌道的一側設置有滾珠。

9.根據權利要求2所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述測量部還包括推桿和把手；

所述推桿的一端安裝于所述測量尺的背面，所述測量尺的背面和所述測量尺與所述模擬面相接觸的表面相對設置；

所述把手安裝于所述推桿的另一端。

10.根據權利要求1所述的靶材刻蝕量測量裝置，其特征在于，所述測量針框架在背離所述測量針測量端的一側開設有觀測口，所述觀測口用于觀測所述測量針。