[發明專利]一種防止刮擦掩膜版邊緣設備

有效

• 申請號: 201810004569.3
• 申請日: 2018-01-03
• 公開（公告）號: CN108008604B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 伍志軍
• 申請（專利權）人: 蘇州賽森電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 韋宇昕

1.一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，包括掩膜版臺面（1），其特征在于，所述掩膜版臺面（1）的頂部固定安裝有六個固定銷（2），且掩膜版臺面（1）的頂部放置有掩膜版（3），所述掩膜版（3）與六個固定銷（2）均相配合，且掩膜版臺面（1）的一側固定安裝有豎直板（4），所述豎直板（4）的頂部延伸至掩膜版臺面（1）的上方，且豎直板（4）靠近掩膜版臺面（1）的一側頂部焊接有頂板（5），所述頂板（5）的底部開設有第一安裝槽（6），且第一安裝槽（6）內安裝有第一推桿電機（7），所述第一推桿電機（7）的輸出軸上焊接有橫板（8），且橫板（8）的底部兩側均焊接有放置板（9），兩個放置板（9）相互靠近的一側均開設有第二安裝槽（10），所述第二安裝槽（10）內安裝有第二推桿電機（11），且第二推桿電機（11）的輸出軸上焊接有推動板（12），所述橫板（8）的底部焊接有移動板（13），所述移動板（13）位于兩個放置板（9）的同一側，且移動板（13）靠近放置板（9）的一側固定安裝有兩個風機（14），所述第二推桿電機（11）位于兩個風機（14）之間，且掩膜版臺面（1）的頂部固定安裝有固定板（15），所述固定板（15）位于掩膜版（3）的一側，且固定板（15）靠近掩膜版（3）的一側焊接有多個彈簧（16），多個彈簧（16）的同一端焊接有同一個滑動板（17），所述滑動板（17）靠近固定板（15）的一側固定安裝有牽引繩（18），且固定板（15）靠近滑動板（17）的一側開設有通孔（19），所述牽引繩（18）遠離滑動板（17）的一端貫穿通孔（19）并固定安裝有浮塊（20），且掩膜版臺面（1）的一側固定安裝有盛裝箱（21），所述盛裝箱（21）內盛裝有水，且浮塊（20）漂浮于水面上；?所述滑動板（17）位于掩膜版（3）的一側，且滑動板（17）與掩膜版（3）相配合；?兩個推動板（12）對稱設置，且推動板（12）與掩膜版（3）相配合；?兩個風機（14）與掩膜版（3）相配合；

所述浮塊（20）的重力比彈簧（16）的彈力大，且移動板（13）與水相配合。

2.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述第一推桿電機（7）的頂部焊接有第一安裝板，且第一推桿電機（7）通過第一安裝板螺紋固定于第一安裝槽（6）的頂部內壁上。

3.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，兩個第二推桿電機（11）相互遠離的一側均焊接有第二安裝板，且第二推桿電機（11）通過第二安裝板螺紋固定于第二安裝槽（10）遠離第二安裝槽（10）開口的一側內壁上。

4.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述彈簧（16）的數量為八到十個，且八到十個彈簧（16）位于同一水平軸線上。

5.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述掩膜版臺面（1）的一側固定安裝有斜桿（22），且斜桿（22）遠離掩膜版臺面（1）的一端安裝有滑輪組（23），所述斜桿（22）位于盛裝箱（21）的上方，且牽引繩（18）與滑輪組（23）滑動連接。

6.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述滑動板（17）的底部安裝有滑塊（24），且掩膜版臺面（1）的頂部開設有滑槽（25），所述滑塊（24）與滑槽（25）滑動連接。