[發明專利]一種防止刮擦掩膜版邊緣設備

有效

• 申請號: 201810004569.3
• 申請日: 2018-01-03
• 公開（公告）號: CN108008604B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 伍志軍
• 申請（專利權）人: 蘇州賽森電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 韋宇昕

本發明公開了一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，包括掩膜版臺面，所述掩膜版臺面的頂部固定安裝有六個固定銷，且掩膜版臺面的頂部放置有掩膜版，所述掩膜版與六個固定銷均相配合，且掩膜版臺面的一側固定安裝有豎直板，所述豎直板的頂部延伸至掩膜版臺面的上方，且豎直板靠近掩膜版臺面的一側頂部焊接有頂板，所述頂板的底部開設有第一安裝槽，且第一安裝槽內安裝有第一推桿電機，所述第一推桿電機的輸出軸上焊接有橫板，且橫板的底部兩側均焊接有放置板，兩個放置板相互靠近的一側均開設有第二安裝槽。本發明實用性高，通過移動板和風機，方便清除掩膜版上表面和下表面的灰塵，并且通過彈簧和盛裝箱，方便在清除掩膜版的同時將掩膜版固定，提高掩膜版的穩定性。

技術領域

本發明涉及掩膜版邊緣設備技術領域，尤其涉及一種防止刮擦掩膜版邊緣設備。

背景技術

現有的掩膜版臺面上面只有四個固定銷，放置掩膜版時不能直接固定，要通過移動才能到達正確位置，這樣掩膜版移動的時候就會產生很多刮擦發生，造成制品露光不良，品質問題，導致再作業的浪費了時間，增加了成本，因此非常有必要在掩膜版臺面上面增加兩個固定銷，放置掩膜版時阻止了移動的，并且必須通過垂直放置才可以使掩膜版放置在正確的位置，但是掩膜版容易沾染灰塵，在垂直放置的時候不方便灰塵的清除，影響后續操作，并且增加兩個固定銷后掩膜版的穩定性不足，因此我們提出了一種防止刮擦掩膜版邊緣設備用于解決上述問題。

發明內容

基于背景技術存在的技術問題，本發明提出了一種防止刮擦掩膜版邊緣設備。

本發明提出的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，包括掩膜版臺面，所述掩膜版臺面的頂部固定安裝有六個固定銷，且掩膜版臺面的頂部放置有掩膜版，所述掩膜版與六個固定銷均相配合，且掩膜版臺面的一側固定安裝有豎直板，所述豎直板的頂部延伸至掩膜版臺面的上方，且豎直板靠近掩膜版臺面的一側頂部焊接有頂板，所述頂板的底部開設有第一安裝槽，且第一安裝槽內安裝有第一推桿電機，所述第一推桿電機的輸出軸上焊接有橫板，且橫板的底部兩側均焊接有放置板，兩個放置板相互靠近的一側均開設有第二安裝槽，所述第二安裝槽內安裝有第二推桿電機，且第二推桿電機的輸出軸上焊接有推動板，所述橫板的底部焊接有移動板，所述移動板位于兩個放置板的同一側，且移動板靠近放置板的一側固定安裝有兩個風機，所述第二推桿電機位于兩個風機之間，且掩膜版臺面的頂部固定安裝有固定板，所述固定板位于掩膜版的一側，且固定板靠近掩膜版的一側焊接有多個彈簧，多個彈簧的同一端焊接有同一個滑動板，所述滑動板靠近固定板的一側固定安裝有牽引繩，且固定板靠近滑動板的一側開設有通孔，所述牽引繩遠離滑動板的一端貫穿通孔并固定安裝有浮塊，且掩膜版臺面的一側固定安裝有盛裝箱，所述盛裝箱內盛裝有水，且浮塊漂浮于水面上。

優選的，所述滑動板位于掩膜版的一側，且滑動板與掩膜版相配合。

優選的，兩個推動板對稱設置，且推動板與掩膜版相配合。

優選的，所述掩膜版的高度與兩個風機之間的距離相等，且兩個風機與掩膜版相配合。

優選的，所述第一推桿電機的頂部焊接有第一安裝板，且第一推桿電機通過第一安裝板螺紋固定于第一安裝槽的頂部內壁上。

優選的，兩個第二推桿電機相互遠離的一側均焊接有第二安裝板，且第二推桿電機通過第二安裝板螺紋固定于第二安裝槽遠離第二安裝槽開口的一側內壁上。

優選的，所述彈簧的數量為八到十個，且八到十個彈簧位于同一水平軸線上。

優選的，所述掩膜版臺面的一側固定安裝有斜桿，且斜桿遠離掩膜版臺面的一端安裝有滑輪組，所述斜桿位于盛裝箱的上方，且牽引繩與滑輪組滑動連接。

優選的，所述滑動板的底部安裝有滑塊，且掩膜版臺面的頂部開設有滑槽，所述滑塊與滑槽滑動連接。

優選的，所述浮塊的重力比彈簧的彈力大，且移動板與水相配合。