[發(fā)明專利]一種段差檢測(cè)設(shè)備及段差檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810004108.6
• 申請(qǐng)日: 2018-01-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108267102B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井楊坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01B17/02
• 分類號(hào): G01B17/02
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉偉;陳麗寧

本發(fā)明提供一種段差檢測(cè)設(shè)備及段差檢測(cè)方法，其中，所述段差檢測(cè)設(shè)備包括：用于承載待檢測(cè)基板的基板承載裝置；位于基板承載裝置上方的導(dǎo)軌；控制主機(jī)；壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件，與導(dǎo)軌可滑動(dòng)連接，能夠沿著導(dǎo)軌的延伸方向滑動(dòng)，且與控制主機(jī)連接，用于接收控制主機(jī)輸入的電壓信號(hào)，向待檢測(cè)基板發(fā)射第一超聲波信號(hào)，接收第一超聲波信號(hào)經(jīng)待檢測(cè)基板反射回的第二超聲波信號(hào)，并根據(jù)第二超聲波信號(hào)，確定待檢測(cè)基板的段差數(shù)據(jù)。本發(fā)明的方案，利用壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件采用超聲波對(duì)基板表面進(jìn)行非接觸段差檢測(cè)，不僅能夠?qū)σ恍┒尾畋容^大或者水平位移要求比較高的基板表面進(jìn)行有效檢測(cè)，還能夠避免劃傷基板表面。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及設(shè)備檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種段差檢測(cè)設(shè)備及段差檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

目前，段差檢測(cè)方法主要采用觸針?lè)绞綄?duì)金屬膜厚進(jìn)行測(cè)量。例如，在對(duì)玻璃基板表面金屬膜進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可首先通過(guò)曝光和刻蝕在玻璃基板表面形成金屬膜臺(tái)階，以便測(cè)量金屬膜厚度，然后利用觸針針對(duì)測(cè)量位置進(jìn)行厚度檢測(cè)。若僅測(cè)量玻璃基板的單點(diǎn)位置，可以采用手動(dòng)多次測(cè)量，然后取平均值；若測(cè)量多個(gè)基板的多點(diǎn)位置的厚度，可以采用自動(dòng)測(cè)量以加快測(cè)量速度。

但是，由于目前段差檢測(cè)是直接利用觸針針對(duì)基板表面進(jìn)行檢測(cè)，受觸針設(shè)計(jì)影響，對(duì)曲面玻璃和一些段差比較大或者水平位移要求比較高的基板表面都不能進(jìn)行有效檢測(cè)。并且觸針屬于接觸式檢測(cè)，若壓力異常則會(huì)造成基板表面劃傷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種段差檢測(cè)設(shè)備及段差檢測(cè)方法，以解決現(xiàn)有采用觸針?lè)绞降亩尾顧z測(cè)方法不能有效檢測(cè)一些段差比較大或者水平位移要求比較高的基板表面，和常常劃傷基板表面的問(wèn)題。

為了解決上述問(wèn)題，第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種段差檢測(cè)設(shè)備，包括：

用于承載待檢測(cè)基板的基板承載裝置；

位于所述基板承載裝置上方的導(dǎo)軌；

控制主機(jī)；

壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件，與所述導(dǎo)軌可滑動(dòng)連接，能夠沿著所述導(dǎo)軌的延伸方向滑動(dòng)，且與所述控制主機(jī)連接，用于接收所述控制主機(jī)輸入的電壓信號(hào)，向所述待檢測(cè)基板發(fā)射第一超聲波信號(hào)，接收所述第一超聲波信號(hào)經(jīng)所述待檢測(cè)基板反射回的第二超聲波信號(hào)，并根據(jù)所述第二超聲波信號(hào)，確定所述待檢測(cè)基板的段差數(shù)據(jù)。

可選的，所述壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件包括：

壓電陶瓷片，所述壓電陶瓷片上具有壓電陶瓷電極，用于在超聲波產(chǎn)生階段，通過(guò)所述壓電陶瓷電極接收所述控制主機(jī)輸入的電壓信號(hào)，發(fā)生形變并產(chǎn)生所述第一超聲波信號(hào)，向所述待檢測(cè)基板發(fā)射所述第一超聲波信號(hào)，并在超聲波接受階段，接收所述第一超聲波信號(hào)經(jīng)所述待檢測(cè)基板反射回的第二超聲波信號(hào)，發(fā)生形變并生成反饋電壓信號(hào)，通過(guò)所述壓電陶瓷電極輸出所述反饋電壓信號(hào)至分析裝置；

分析裝置，用于根據(jù)所述反饋電壓信號(hào)，確定所述待檢測(cè)基板的段差數(shù)據(jù)。

可選的，所述壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件還包括：

位于所述壓電陶瓷片背向所述基板承載裝置的一側(cè)的檢測(cè)電容，所述檢測(cè)電容包括相對(duì)設(shè)置的第一極板和第二極板，所述第一極板位于所述第二極板背向所述壓電陶瓷片的一側(cè)，所述第二極板貼附在所述壓電陶瓷片上，用于隨著所述壓電陶瓷片的形變而發(fā)生形變，以改變所述檢測(cè)電容的電容值；

所述分析裝置還用于獲取所述檢測(cè)電容的所述第一極板和所述第二極板之間的電壓差信號(hào)，并根據(jù)所述反饋電壓信號(hào)以及所述電壓差信號(hào)，確定所述待檢測(cè)基板的段差數(shù)據(jù)。

可選的，所述第二極板是所述壓電陶瓷片上的一層金屬鍍膜。

可選的，所述壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件還包括：

位于所述壓電陶瓷片背向所述基板承載裝置的一側(cè)的屏蔽片，用于屏蔽所述壓電陶瓷超聲檢測(cè)組件上方的電場(chǎng)。