[發明專利]一種段差檢測設備及段差檢測方法

有效

• 申請號: 201810004108.6
• 申請日: 2018-01-03
• 公開（公告）號: CN108267102B
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 井楊坤
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B17/02
• 分類號: G01B17/02
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉偉;陳麗寧

1.一種段差檢測設備，其特征在于，包括：

用于承載待檢測基板的基板承載裝置；

位于所述基板承載裝置上方的導軌；

控制主機；

壓電陶瓷超聲檢測組件，與所述導軌可滑動連接，能夠沿著所述導軌的延伸方向滑動，且與所述控制主機連接，用于接收所述控制主機輸入的電壓信號，向所述待檢測基板發射第一超聲波信號，接收所述第一超聲波信號經所述待檢測基板反射回的第二超聲波信號，并根據所述第二超聲波信號，確定所述待檢測基板的段差數據；

其中，所述壓電陶瓷超聲檢測組件包括：

壓電陶瓷片，所述壓電陶瓷片上具有壓電陶瓷電極，用于在超聲波產生階段，通過所述壓電陶瓷電極接收所述控制主機輸入的電壓信號，發生形變并產生所述第一超聲波信號，向所述待檢測基板發射所述第一超聲波信號，并在超聲波接受階段，接收所述第一超聲波信號經所述待檢測基板反射回的第二超聲波信號，發生形變并生成反饋電壓信號，通過所述壓電陶瓷電極輸出所述反饋電壓信號至分析裝置；

分析裝置，用于根據所述反饋電壓信號，確定所述待檢測基板的段差數據；

位于所述壓電陶瓷片背向所述基板承載裝置的一側的檢測電容，所述檢測電容包括相對設置的第一極板和第二極板，所述第一極板位于所述第二極板背向所述壓電陶瓷片的一側，所述第二極板貼附在所述壓電陶瓷片上，用于隨著所述壓電陶瓷片的形變而發生形變，以改變所述檢測電容的電容值；

所述分析裝置還用于獲取所述檢測電容的所述第一極板和所述第二極板之間的電壓差信號，并根據所述反饋電壓信號以及所述電壓差信號，確定所述待檢測基板的段差數據。

2.根據權利要求1所述的段差檢測設備，其特征在于，所述第二極板是所述壓電陶瓷片上的一層金屬鍍膜。

3.根據權利要求1所述的段差檢測設備，其特征在于，所述壓電陶瓷超聲檢測組件還包括：

位于所述壓電陶瓷片背向所述基板承載裝置的一側的屏蔽片，用于屏蔽所述壓電陶瓷超聲檢測組件上方的電場。

4.根據權利要求1所述的段差檢測設備，其特征在于，所述壓電陶瓷超聲檢測組件還包括：

位于所述壓電陶瓷片和所述基板承載裝置之間的方向聚集罩，用于形成一超聲波傳播空間并將所述第一超聲波信號和第二超聲波信號限定在所述超聲波傳播空間內。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的段差檢測設備，其特征在于，所述段差檢測設備還包括：

用于安裝所述導軌的連接部件。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的段差檢測設備，其特征在于，所述段差檢測設備還包括：

用于調整所述基板承載裝置和所述壓電陶瓷超聲檢測組件的相對位置的移動單元。

7.一種段差檢測方法，其特征在于，應用于如權利要求1至6中任一項所述的段差檢測設備，所述方法包括：

將壓電陶瓷超聲檢測組件移動到待檢測基板的上方；

控制所述壓電陶瓷超聲檢測組件接收控制主機輸入的電壓信號，向所述待檢測基板發射第一超聲波信號，接收所述第一超聲波信號經所述待檢測基板反射回的第二超聲波信號，并根據所述第二超聲波信號，確定所述待檢測基板的段差數據；

所述根據所述第二超聲波信號，確定所述待檢測基板的段差數據，包括：

根據反饋電壓信號以及電壓差信號，確定所述待檢測基板的段差數據；

其中，所述反饋電壓信號是所述壓電陶瓷超聲檢測組件包括的壓電陶瓷片基于所述第二超聲波信號發生形變而生成；所述電壓差信號是所述壓電陶瓷超聲檢測組件包括的檢測電容的第一極板和第二極板之間的電壓差信號，所述檢測電容位于所述壓電陶瓷片背向所述基板承載裝置的一側，所述第一極板位于所述第二極板背向所述壓電陶瓷片的一側，所述第二極板貼附在所述壓電陶瓷片上，用于隨著所述壓電陶瓷片的形變而發生形變，以改變所述檢測電容的電容值。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法具體包括：

按照預設的多個坐標點依次將所述壓電陶瓷超聲檢測組件移動到所述待檢測基板的所述多個坐標點的上方；

在所述多個坐標點中的每一個坐標點，控制所述壓電陶瓷超聲檢測組件接收所述控制主機輸入的電壓信號，向所述待檢測基板發射第一超聲波信號，接收所述第一超聲波信號經所述待檢測基板反射回的第二超聲波信號，并根據所述第二超聲波信號，確定所述待檢測基板的段差數據，以得到所述待檢測基板的每一個坐標點的段差數據。