[發明專利]一種氣體檢測裝置有效
| 申請號： | 201810002975.6 | 申請日： | 2018-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN108303216B | 公開（公告）日： | 2020-03-06 |
| 發明（設計）人： | 張文波;郭如旺;萬俊;鄭文灝 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/04 | 分類號： | G01M3/04 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氣體 檢測 裝置 | ||
1.一種氣體檢測裝置，其特征在于，包括氣體收集腔、檢測部件、管道、以及等離子體發生器；
所述氣體收集腔用于收集氣體樣本；所述管道的第一端與所述氣體收集腔連通，第二端與所述等離子體發生器的氣體進口連通；所述等離子體發生器的噴口朝向所述檢測部件；所述檢測部件能夠與待測氣體生成的等離子體發生化學反應，使得所述檢測部件的檢測面被刻蝕，以檢測所述氣體樣本中是否包含所述待測氣體；
所述氣體樣本進入所述等離子體發生器后，經處理生成等離子體，若待測氣體生成的等離子與所述檢測部件發生化學反應，證明所述氣體樣本中含有待測氣體；若氣體樣本生成的等離子不與所述檢測部件發生化學反應，證明所述氣體樣本中不包含待測氣體；
所述檢測部件的檢測面為所述檢測部件上平滑的表面；
所述檢測部件的主要成分中包含Si元素。
2.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氣體收集腔上設置有至少一個透氣口。
3.根據權利要求2所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述透氣口設置在所述氣體收集腔的上半部分。
4.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氣體收集腔上用于與所述管道連通的開口設置在所述氣體收集腔的下半部分。
5.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氣體檢測裝置還包括泵；
所述管道包括第一子管道和第二子管道，所述第一子管道和所述第二子管道通過所述泵連通。
6.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述等離子體發生器還包括直流電源以及與所述直流電源的正極和負極分別連接的陽極和陰極，所述陽極包括電弧運動通道；所述陰極設置在所述電弧運動通道的外側壁上。
7.根據權利要求1所述的氣體檢測裝置，其特征在于，沿所述第一端到所述第二端的方向，所述管道的內徑逐漸減小。
8.根據權利要求1-7任一項所述的氣體檢測裝置，其特征在于，所述氣體收集腔由透明材料制成，或者所述氣體收集腔上具有透明材料制成的觀察窗。
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