[發(fā)明專利]一種氣體檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810002975.6 | 申請日： | 2018-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN108303216B | 公開（公告）日： | 2020-03-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張文波;郭如旺;萬俊;鄭文灝 | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/04 | 分類號： | G01M3/04 |
| 代理公司： | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氣體 檢測 裝置 | ||
本發(fā)明提供一種氣體檢測裝置，涉及氣體檢測技術(shù)領(lǐng)域，可解決現(xiàn)有技術(shù)中無法快速、實時檢測是否有氣體泄漏的問題。所述氣體檢測裝置，包括氣體收集腔、檢測部件、管道、以及等離子體發(fā)生器；所述氣體收集腔用于收集氣體樣本；所述管道的第一端與所述氣體收集腔連通，第二端與所述等離子體發(fā)生器的氣體進(jìn)口連通；所述等離子體發(fā)生器的噴口朝向所述檢測部件；所述檢測部件能夠與待測氣體生成的等離子體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使得所述檢測部件的檢測面被刻蝕，以檢測所述氣體樣本中是否包含所述待測氣體。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及氣體檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣體檢測裝置。
背景技術(shù)
在生產(chǎn)、實驗等過程中常常為了實現(xiàn)某種目的而使用或生成一些有毒、有害、有污染、有腐蝕的氣體，通常情況下會對殘余或者反應(yīng)生成的上述氣體進(jìn)行處理，以避免產(chǎn)生危害。但在實際操作過程中，會出現(xiàn)因反應(yīng)設(shè)備或者處理設(shè)備老化、磨損、松動等原因?qū)е職怏w泄漏，而如果無法及時獲知存在氣體泄漏問題，則會產(chǎn)生安全隱患。
例如在顯示技術(shù)領(lǐng)域中，等離子體增強化學(xué)氣相沉積及等離子體刻蝕等裝置，需要通過含有氟的氣體對腔室進(jìn)行清洗或?qū)ΣＡнM(jìn)行刻蝕，通常情況下，真空腔室內(nèi)反應(yīng)副產(chǎn)物及未反應(yīng)的氣體會通過機械泵(Pump)和廢氣處理前置裝置(POU)抽走，POU連接尾氣處理裝置(scrubber)對氣體進(jìn)行處理。而在實際生產(chǎn)中，在Pump與POU連接時起密封作用的法蘭、密封圈及其他密封裝置因老化、磨損或松動會導(dǎo)致尾氣泄漏。尾氣中的三氟化氮(NF3)是低毒性物質(zhì)，它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，并腐蝕組織，吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉；另外，其具有強氧化性，與還原劑能發(fā)生強烈反應(yīng)，引起燃燒爆炸，因此NF3泄漏會帶來重大安全隱患。
現(xiàn)有技術(shù)中有一種NF3檢測儀，主要采用的是催化熱裂解+電化學(xué)原理，通過催化劑來降低超高溫裂解裝置的加熱溫度。由于裂解需要在高溫下完成，從現(xiàn)場的使用效果來看，存在預(yù)熱時間長的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施例提供一種氣體檢測裝置，可解決現(xiàn)有技術(shù)中無法快速、實時檢測是否有氣體泄漏的問題。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：
提供一種氣體檢測裝置，包括氣體收集腔、檢測部件、管道、以及等離子體發(fā)生器；所述氣體收集腔用于收集氣體樣本；所述管道的第一端與所述氣體收集腔連通，第二端與所述等離子體發(fā)生器的氣體進(jìn)口連通；所述等離子體發(fā)生器的噴口朝向所述檢測部件；所述檢測部件能夠與待測氣體生成的等離子體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使得所述檢測部件的檢測面被刻蝕，以檢測所述氣體樣本中是否包含所述待測氣體。
可選的，所述氣體收集腔上設(shè)置有至少一個透氣口。
可選的，所述透氣口設(shè)置在所述氣體收集腔的上半部分。
可選的，所述氣體收集腔上用于與所述管道連通的開口設(shè)置在所述氣體收集腔的下半部分。
可選的，所述氣體檢測裝置還包括泵；所述管道包括第一子管道和第二子管道，所述第一子管道和所述第二子管道通過所述泵連通。
可選的，所述等離子體發(fā)生器還包括直流電源以及與所述直流電源的正極和負(fù)極分別連接的陽極和陰極，所述陽極包括電弧運動通道；所述陰極設(shè)置在所述電弧運動通道的外側(cè)壁上。
可選的，沿所述第一端到所述第二端的方向，所述管道的內(nèi)徑逐漸減小。
可選的，所述檢測部件的檢測面為所述檢測部件上平滑的表面。
可選的，所述檢測部件的主要成分中包含Si元素。
可選的，所述氣體收集腔由透明材料制成。
可選的，所述氣體收集腔上具有透明材料制成的觀察窗。
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