[發(fā)明專利]掩膜板及其制造方法、掩膜組件及蒸鍍裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810002259.8
• 申請日: 2018-01-02
• 公開（公告）號: CN107904554A
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設計）人: 張新建;劉麗國;尹志
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

技術領域

本發(fā)明涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜板及其制造方法、掩膜組件及蒸鍍裝置。

背景技術

有機發(fā)光二極管(英文：Organic Light-Emitting Diode，簡稱：OLED)顯示裝置的應用越來越廣泛，且通常會使用掩膜組件來制造OLED顯示裝置。

掩膜組件通常包括掩膜板和掩膜框架，而在形成掩膜組件時，通常是先將掩膜板對位疊加在掩膜框架上，之后再將掩膜板和掩膜框架焊接在一起。相關技術中，在焊接掩膜板和掩膜框架時，通常從掩膜板遠離掩膜框架的一側向掩膜板發(fā)射激光，以使得掩膜板和掩膜框架在激光的作用下焊接。另外，在使用該掩膜組件在玻璃基板上形成膜層圖案時，可以將該玻璃基板疊加在掩膜板遠離掩膜框架的一側。

但是，由于在采用激光焊接的方式進行焊接的過程中，掩膜板遠離掩膜框架一側的表面會出現凸起于該表面的焊點，因此在將玻璃基板疊加在掩膜板遠離掩膜框架的一側時，玻璃基板會與焊點接觸，從而較容易劃傷玻璃基板。

發(fā)明內容

本申請?zhí)峁┝艘环N掩膜板，可以解決相關技術中在將玻璃基板疊加在掩膜組件中掩膜板遠離掩膜框架的一側時，凸起于掩膜板表面的焊點容易劃傷玻璃基板的問題，所述技術方案如下：

一方面，提供了一種掩膜板，所述掩膜板包括：掩膜圖形區(qū)域，以及所述掩膜圖形區(qū)域的周邊區(qū)域，所述周邊區(qū)域包括凹陷結構，且所述凹陷結構的凹陷方向平行于所述掩膜板的厚度方向。

可選的，所述凹陷結構為設置于所述周邊區(qū)域遠離所述掩膜圖形區(qū)域的邊緣的臺階。

可選的，所述凹陷結構為凹槽。

可選的，所述周邊區(qū)域包括至少一組所述凹陷結構，每組所述凹陷結構包括：相對設置在所述掩膜圖形區(qū)域兩側的兩個所述凹陷結構。

可選的，所述凹陷結構為包圍所述掩膜圖形區(qū)域的環(huán)形凹陷結構。

可選的，所述掩膜圖形區(qū)域為矩形區(qū)域，所述環(huán)形凹陷結構為方環(huán)形凹陷結構。

可選的，所述凹陷結構的最大凹陷深度大于15微米。

可選的，所述掩膜板的材質為因瓦合金。

另一方面，提供一種掩膜板的制造方法，所述掩膜板為上述掩膜板，所述方法包括：制造包括掩膜圖形區(qū)域以及所述掩膜圖形區(qū)域的周邊區(qū)域的掩膜板；其中，所述周邊區(qū)域包括凹陷結構，且所述凹陷結構的凹陷方向平行于所述掩膜板的厚度方向。

可選的，所述制造包括掩膜圖形區(qū)域以及所述掩膜圖形區(qū)域的周邊區(qū)域的掩膜板，包括：提供基板；在所述基板上形成所述掩膜圖形區(qū)域；采用刻蝕的方式在所述基板上形成所述凹陷結構，以得到所述掩膜板。

可選的，所述凹陷結構為設置于所述周邊區(qū)域遠離所述掩膜圖形區(qū)域的邊緣的臺階。

可選的，所述凹陷結構為凹槽。

可選的，所述凹陷結構的最大凹陷深度大于15微米。

又一方面，提供一種掩膜組件，所述掩膜組件包括上述掩膜板。

再一方面，提供一種蒸鍍裝置，所述蒸鍍裝置包括上述掩膜組件。

本申請?zhí)峁┑募夹g方案帶來的有益效果是：在本發(fā)明實施例提供的掩膜板中，掩膜圖形區(qū)域的周邊區(qū)域形成有凹陷結構。在焊接該掩膜板和掩膜框架時，可以從掩膜板遠離掩膜框架的一側向掩膜板凹陷結構發(fā)射激光，以使得焊接過程中形成的焊點的凸起部分位于凹陷結構內，從而減弱了焊點凸出于掩膜板的程度。因此，在將玻璃基板疊加在掩膜板上時，減弱了玻璃基板在焊點處受到的力，減小了玻璃基板劃傷的概率。

應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節(jié)描述僅是示例性的，并不能限制本申請。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明的實施例，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為一種相關技術提供的掩膜組件上疊加玻璃基板的示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的一種掩膜板的截面示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的一種掩膜板的俯視圖；

圖4為本發(fā)明實施例提供的一種掩模版的側視圖；

圖5為本發(fā)明實施例提供的另一種掩膜板的俯視圖；

圖6為本發(fā)明實施例提供的另一種掩模版的截面示意圖；

圖7為本發(fā)明實施例提供的又一種掩膜板的俯視圖；

圖8為本發(fā)明實施例提供的一種掩膜板的制造方法的方法流程圖；