[發明專利]一種載臺及生產線制作設備

在審

• 申請號: 201810001943.4
• 申請日: 2018-01-02
• 公開（公告）號: CN108183085A
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 李昀澤;朱文龍;張彬彬;劉紅松;汪祖良;董寶杰
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發明提供一種載臺及生產線制作設備，涉及顯示基板的制作領域。載臺包括：承載板，所述承載板的形成材料包括可形變材料，所述承載板劃分為多個區域；與所述區域一一對應的控制單元，用于在對應的區域發生翹曲后，控制對應的區域發生抵消翹曲的形變。在本發明的方案中，載臺設置有控制單元，通過控制單元來對承載板發生翹曲的區域進行形變，以抵消翹曲，可提高承載板的平坦度。在實際應用中，特別是進行激光切工藝，當承載板具有較高平坦度后，可以顯著提高激光的聚集效果，從而保證切割工藝正常進行，可提供產品的制作良品率，因此對于廠商來講，具有較高的實用價值。

技術領域

本發明涉及顯示基板的制作領域，特別是指一種載臺及生產線制作設備。

背景技術

目前顯示基板大部分的制作工藝需要在載臺上進行。以其中，切割工藝為例，玻璃基板被置于載臺上，后隨載臺的移動，二者一同被放置于工作平臺之上進行激光切割，依次經過脈沖激光及CO₂激光。正常情況下，脈沖激光聚焦于玻璃基板表面，后脈沖激光進行激光打點，從而在玻璃表面形成微裂紋。

現有的制作顯示基板的載臺是由鋁合金+石英玻璃組成，長時間工作后會導致載臺產生形變。一旦載臺翹曲，會導致放在載臺上的玻璃基板的平坦度產生變化，使得脈沖激光的無法正常聚焦于玻璃表面，從而造成切割不良。

發明內容

本發明的目的是提供一種載臺及生產線制作設備，用于對載臺承載面的平坦度進行自校準，以減小承載面的翹曲程度。

為實現上述目的，一方面，本發明的實施例提供一種載臺，包括：

承載板，所述承載板的形成材料包括可形變材料，所述承載板劃分為多個區域；

與所述區域一一對應的控制單元，用于在對應的區域發生翹曲后，控制對應的區域發生抵消翹曲的形變。

其中，所述載臺還包括：

射頻識別芯片，用于測量并記錄所述承載板發生翹曲的區域和翹曲量。

其中，所述控制單元由為磁性材料形成。

其中，所述載臺基板包括：第一基板、第二基板；

所述多個控制單元均勻設置在所述第一基板與所述第二基板之間；所述第一基板和第二基板的形成材料包括可形變材料。

其中，所述第一基板朝向所述第二基板的表面形成有多個凹槽結構；

所述多個控制單元設置在所述多個凹槽結構內。

其中，所述控制單元不超出所述第一基板朝向所述第二基板的表面，所述第一基板與所述第二基板貼合設置。

其中，所述可行變材料為鋁。

另一方面，本發明的實施例還提供一種生產線制作設備，包括：

本發明實施例提供的載臺；

執行模塊，用于驅動承載板發生翹曲的區域所對應的控制單元工作，以使該控制單元控制其對應的區域發生抵消翹曲的形變。

其中，所述載臺包括射頻識別芯片，所述生產線制作設備包括：

射頻讀取模塊，用于讀取所述射頻識別芯片記錄的所述承載板發生翹曲的區域和翹曲量。

其中，所述執行模塊包括：

計算電路，用于根據發生翹曲的區域的翹曲量，計算出該發生翹曲的區域所對應的控制單元的工作電流；

輸出電路，用于向發生翹曲的區域所對應的控制單元提供所述工作電流。

本發明的上述方案具有如下有益效果：