[發(fā)明專利]一種載臺及生產(chǎn)線制作設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810001943.4
• 申請日: 2018-01-02
• 公開（公告）號: CN108183085A
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李昀澤;朱文龍;張彬彬;劉紅松;汪祖良;董寶杰
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種載臺，其特征在于，包括：

承載板，所述承載板的形成材料包括可形變材料，所述承載板劃分為多個(gè)區(qū)域；

與所述區(qū)域一一對應(yīng)的控制單元，用于在對應(yīng)的區(qū)域發(fā)生翹曲后，控制對應(yīng)的區(qū)域發(fā)生抵消翹曲的形變。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載臺，其特征在于，還包括：

射頻識別芯片，用于測量并記錄所述承載板發(fā)生翹曲的區(qū)域和翹曲量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載臺，其特征在于，

所述控制單元由為磁性材料形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載臺，其特征在于，

所述載臺基板包括：第一基板、第二基板；

其中，所述多個(gè)控制單元均勻設(shè)置在所述第一基板與所述第二基板之間；所述第一基板和第二基板的形成材料包括可形變材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載臺，其特征在于，

所述第一基板朝向所述第二基板的表面形成有多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)；

所述多個(gè)控制單元設(shè)置在所述多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的載臺，其特征在于，

所述控制單元不超出所述第一基板朝向所述第二基板的表面，所述第一基板與所述第二基板貼合設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載臺，其特征在于，

所述可行變材料為鋁。

8.一種生產(chǎn)線制作設(shè)備，其特征在于，包括：

如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的載臺；

執(zhí)行模塊，用于驅(qū)動(dòng)承載板發(fā)生翹曲的區(qū)域所對應(yīng)的控制單元工作，以使該控制單元控制其對應(yīng)的區(qū)域發(fā)生抵消翹曲的形變。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的生產(chǎn)線制作設(shè)備，其特征在于，所述載臺包括射頻識別芯片，所述生產(chǎn)線制作設(shè)備包括：

射頻讀取模塊，用于讀取所述射頻識別芯片記錄的所述承載板發(fā)生翹曲的區(qū)域和翹曲量。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的生產(chǎn)線制作設(shè)備，其特征在于，

所述生產(chǎn)線制作設(shè)備包括如權(quán)利要求3所述的載臺；

所述執(zhí)行模塊包括：

與所述控制單元一一對應(yīng)的電磁單元，用于在加載工作電流后，通過磁力驅(qū)動(dòng)對應(yīng)的控制單元帶動(dòng)對應(yīng)的區(qū)域發(fā)生形變；

處理單元，用于根據(jù)發(fā)生翹曲的區(qū)域的翹曲量，計(jì)算出該發(fā)生翹曲的區(qū)域所對應(yīng)的電磁單元的工作電流；

驅(qū)動(dòng)單元，用于對生翹曲的區(qū)域所對應(yīng)的電磁單元加載由處理單元計(jì)算出的工作電流。