[發明專利]光學元件的移動裝置、窄帶化激光裝置和電子器件的制造方法

有效

• 申請號: 201780096537.4
• 申請日: 2017-12-07
• 公開（公告）號: CN111566533B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 渡部義信;嘉藤真英;古里博志
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G02B27/09;G02B7/10;G03F7/20;H01S3/02;H01S3/038;H01S3/08;H01S3/106;H01S3/134;H01S3/139;H01S3/225
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于英慧;崔成哲

1.一種光學元件的移動裝置，其是在窄帶化激光裝置中的譜寬度可變部中使用的光學元件的移動裝置，其中，

所述光學元件的移動裝置具有：

第1保持部，其保持第1光學元件；

第2保持部，其保持第2光學元件，并具有相對于接近所述第1保持部的第1方向傾斜的傾斜面；

引導部，其能夠與所述第1方向平行地移動所述第2保持部；以及

彈性部件，其被配置于所述第1保持部與所述第2保持部之間的、第1面通過的位置，該第1面與所述傾斜面垂直地交叉且與所述第1方向平行，

所述彈性部件被配置于如下直線通過的位置，該直線與所述第1方向平行且與所述傾斜面交叉，

所述引導部的至少一部分被配置于所述第1面通過且如下直線通過的位置，該直線與所述第1方向垂直且與所述傾斜面交叉。

2.根據權利要求1所述的光學元件的移動裝置，其中，

所述引導部的至少一部分被配置于所述第1面通過的位置。

3.根據權利要求2所述的光學元件的移動裝置，其中，

所述引導部包含被保持于所述第1保持部的第1軌道和第2軌道，

所述第2保持部包含沿著所述第1軌道移動的第1部分和沿著所述第2軌道移動的第2部分，

所述第2光學元件被保持于所述第1部分與所述第2部分之間。

4.根據權利要求1所述的光學元件的移動裝置，其中，

所述第1光學元件是柱面凸透鏡，

所述第2光學元件是柱面凹透鏡，

所述柱面凸透鏡的柱面凸面的中心軸和所述柱面凹透鏡的柱面凹面的中心軸與第2方向平行，該第2方向在所述第1面內與所述第1方向垂直。

5.根據權利要求1所述的光學元件的移動裝置，其中，

所述光學元件的移動裝置還具有：

輪子；

連桿部，其支承所述輪子；以及

致動器，其使所述連桿部移動，以使所述輪子按壓所述傾斜面。

6.根據權利要求5所述的光學元件的移動裝置，其中，

所述致動器使所述連桿部在第2方向上移動，該第2方向在所述第1面內與所述第1方向垂直。

7.一種窄帶化激光裝置，其具有：

激光諧振器；

腔，其被配置于所述激光諧振器，并收容激光氣體；

一對電極，其被配置于所述腔；

波長選擇元件，其被配置于所述激光諧振器；以及

譜寬度可變部，其被配置于所述激光諧振器，

其中，

所述譜寬度可變部具有：

第1光學元件；

第1保持部，其保持所述第1光學元件；

第2光學元件；

第2保持部，其保持所述第2光學元件，并具有相對于接近所述第1保持部的第1方向傾斜的傾斜面；

引導部，其能夠與所述第1方向平行地移動所述第2保持部；以及

彈性部件，其被配置于所述第1保持部與所述第2保持部之間的、第1面通過的位置，該第1面與所述傾斜面垂直地交叉且與所述第1方向平行，

所述彈性部件被配置于如下直線通過的位置，該直線與所述第1方向平行且與所述傾斜面交叉，

所述引導部的至少一部分被配置于所述第1面通過且如下直線通過的位置，該直線與所述第1方向垂直且與所述傾斜面交叉。

8.根據權利要求7所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述引導部的至少一部分被配置于所述第1面通過的位置。

9.根據權利要求8所述的窄帶化激光裝置，其中，

所述引導部包含被保持于所述第1保持部的第1軌道和第2軌道，

所述第2保持部包含沿著所述第1軌道移動的第1部分和沿著所述第2軌道移動的第2部分，

所述第2光學元件被保持于所述第1部分與所述第2部分之間。