[發(fā)明專利]激光照射系統(tǒng)和電子器件的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780096036.6
• 申請日: 2017-12-07
• 公開（公告）號: CN111226359B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鈴木章義;若林理
• 申請（專利權(quán)）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/086
• 分類號: H01S3/086
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 金玲;黃綸偉

1.一種激光照射系統(tǒng)，其具有：

激光裝置，其輸出第1脈沖激光；

第1光學(xué)系統(tǒng)，其對所述第1脈沖激光的射束截面形狀進行整形而變換為第2脈沖激光，對所述第2脈沖激光進行轉(zhuǎn)印；

多鏡器件，其配置于所述第1光學(xué)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)印位置處，且包含多個反射鏡，能夠控制所述多個反射鏡各自的姿勢角度，且該多鏡器件通過對所述第2脈沖激光進行分割而向多個方向反射，生成分割后的多個脈沖激光；

傅立葉變換光學(xué)系統(tǒng)，其使所述分割后的多個脈沖激光會聚；以及

控制部，其以利用所述傅立葉變換光學(xué)系統(tǒng)使通過所述反射鏡進行分割后的多個脈沖激光重疊的方式控制所述多個反射鏡的姿勢角度，其中所述反射鏡彼此隔開所述第2脈沖激光的空間相干長度以上的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述激光裝置為放電激勵式激光裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述控制部根據(jù)所述第2脈沖激光的所述空間相干長度，設(shè)定多個相干單元，

所述控制部通過將所述多鏡器件中的所述多個反射鏡的排列與所述相干單元相對應(yīng)地劃分為多個反射鏡排列區(qū)域，按照每個所述相干單元確定包含多個反射鏡的所述反射鏡排列區(qū)域，

所述控制部從所述多個相干單元中分別選擇1個反射鏡而以使所述選擇的各個反射鏡使脈沖激光向同一方向反射的方式控制所述多個反射鏡的姿勢角度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述相干單元是將垂直的2個軸方向的第1軸方向的空間相干長度作為第1邊、將第2軸方向的空間相干長度作為第2邊的四邊形的大小以上的區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

該激光照射系統(tǒng)還具有射束特性計測器，該射束特性計測器計測所述第2脈沖激光的射束特性，

所述控制部根據(jù)所述射束特性計測器的計測結(jié)果，控制所述多個反射鏡的姿勢角度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述射束特性計測器是計測所述第2脈沖激光的射束截面的光強度分布的射束分析儀。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述控制部根據(jù)由所述射束分析儀計測出的所述射束截面的各位置處的光強度，控制所述多個反射鏡的姿勢角度。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述射束特性計測器是計測所述第2脈沖激光的射束截面的各位置處的脈沖激光的行進方向和光強度的波面?zhèn)鞲衅鳌?/p>

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述控制部根據(jù)由所述波面?zhèn)鞲衅饔嫓y出的所述射束截面的各位置處的脈沖激光的行進方向和光強度，控制所述多個反射鏡的姿勢角度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述第1光學(xué)系統(tǒng)包含射束整形光學(xué)系統(tǒng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述第1光學(xué)系統(tǒng)包含射束準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述第1光學(xué)系統(tǒng)包含低相干光學(xué)系統(tǒng)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的激光照射系統(tǒng)，其中，

所述低相干光學(xué)系統(tǒng)是對于激光射束內(nèi)的不同位置處的脈沖激光在空間上生成時間相干長度以上的光路差的光學(xué)元件。