[發明專利]基板搬運裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法、元件制造方法、基板搬運方法以及曝光方法

在審

• 申請號: 201780095223.2
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN111133383A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/677
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種基板搬運裝置，將基板搬運至保持裝置，且包括：

第一保持部，在所述保持裝置的上方保持所述基板；

第二保持部，保持經所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及

驅動部，以所述第一保持部自所述保持裝置的上方退避的方式，使所述保持裝置及所述第二保持部與所述第一保持部中的一者相對于另一者相對移動；且

所述保持裝置、所述第一保持部及所述第二保持部在所述驅動部進行的相對移動中保持所述基板。

2.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其中所述驅動部以使所述第一保持部保持的所述基板的面積減少且使所述保持裝置保持的所述基板的面積增加的方式，使所述第一保持部相對于所述物體相對移動。

3.根據權利要求1或2所述的基板搬運裝置，其中所述驅動部以所述第一保持部與所述第二保持部的距離變大的方式使所述第一保持部移動，

所述保持裝置保持所述基板中經所述第一保持部保持的區域與經所述第二保持部保持的區域之間的區域。

4.根據權利要求3所述的基板搬運裝置，其中所述驅動部在所述第二保持部保持所述基板的一部分的狀態下，使所述第一保持部以自所述保持裝置的上方退避的方式向在上下方向上不與所述保持裝置重疊的位置移動，

所述保持裝置保持所述第一保持部的保持經解除的所述基板的區域。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的基板搬運裝置，其中所述第二保持部向所述保持裝置搬運所述基板的一部分。

6.根據權利要求5所述的基板搬運裝置，其中所述驅動部使所述第一保持部相對于所述保持裝置及所述第二保持部自所述第二保持部搬運所述基板的一部分的所述保持裝置的一端側向所述保持裝置的另一端側相對移動。

7.根據權利要求6所述的基板搬運裝置，其中所述保持裝置在所述保持裝置的另一端側保持所述基板的其他部分。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的基板搬運裝置，其中所述第一保持部保持所述基板的一部分與所述保持裝置的上下方向的距離較所述基板的其他部分與所述保持裝置的距離更短的狀態的所述基板。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的基板搬運裝置，其中所述驅動部使所述保持裝置及所述第二保持部與所述第一保持部中的一者相對于另一者向沿著所述保持裝置保持所述基板的保持面的方向相對移動。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的基板搬運裝置，其中所述第一保持部在所述相對移動中，在所述保持裝置的上方移動。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的基板搬運裝置，其中所述第二保持部設于所述保持裝置。

12.根據權利要求11所述的基板搬運裝置，其中所述第二保持部設于所述保持裝置的上表面。

13.根據權利要求1至12中任一項所述的基板搬運裝置，其中所述第二保持部在保持所述基板的一部分的狀態下，調整所述基板相對于所述保持裝置的位置。

14.根據權利要求1至13中任一項所述的基板搬運裝置，包括將與所述基板不同的其他基板自所述保持裝置搬出的搬出裝置，

所述搬出裝置在所述驅動部進行的所述保持裝置及所述第二保持部與所述第一保持部與所述保持裝置及所述第二保持部的相對移動中，搬出所述其他基板。

15.根據權利要求14所述的基板搬運裝置，其中所述搬出裝置使所述其他基板移動至上下方向上所述第一保持部與所述保持裝置之間的位置。