[發明專利]電荷粒子顯微鏡裝置和廣角圖像生成方法

有效

• 申請號: 201780094577.5
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN111095351B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 小林光俊;田中麻紀;星野吉延
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G06T5/50
• 分類號: G06T5/50;G06T3/00;G06T7/30
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;范勝杰

本發明在生成的廣角圖像中殘存局部的位置偏差時，也能夠促使進行用于修正局部位置偏差的用戶輸入，并根據該用戶輸入重新生成在重疊區域的局部區域中位置偏差量也小的廣角圖像。電荷粒子顯微鏡維持相鄰的拍攝圖像重疊的區域即重疊區域并拍攝多張拍攝圖像，圖像處理部在上述重疊區域中將對應點對設定在上述相鄰的拍攝圖像之間，對每個上述拍攝圖像設定規定的限制條件，根據上述對應點對和上述限制條件計算上述拍攝圖像之間的相對位置偏差量，根據計算出的上述位置偏差量修正上述拍攝圖像之間的相對位置偏差并連接起來，由此生成一張廣角圖像，在上述重疊區域中設定的多個局部區域中計算拍攝圖像的連接的可靠度，向用戶通知上述可靠度低的上述局部區域或包含上述局部區域的重疊區域、上述設定好的對應點對和上述限制條件。

技術領域

本發明涉及電荷粒子顯微鏡裝置和廣角圖像生成方法。

背景技術

電荷粒子顯微鏡與光學顯微鏡相比分辨率非常高，為了清晰地觀察被觀察對象的細微構造而被廣泛利用。在電荷粒子顯微鏡中，向對象樣本照射電荷粒子束，通過檢測器檢測在對象樣本反射、或從對象樣本釋放、或透過對象樣本的粒子(與照射的電荷粒子同種、或其他種類的電荷粒子、或電磁波、光子)，由此取得對象樣本的圖像。電荷粒子顯微鏡的觀察對象涉及材料、半導體、食品、生物、醫療領域等多方面。

在利用了電荷粒子顯微鏡的檢查、分析中，需要在廣范圍內確認構造物的整體像、分布，存在希望通過視野廣的拍攝圖像(以下稱為“廣角圖像”)進行觀察的需求。進而，在廣角圖像中，還要求高畫質的圖像、即分辨率高、SN比高、相鄰的拍攝圖像之間的位置偏差量小的圖像。但是，由于硬件的制約，在高分辨率的拍攝條件下發出的電荷粒子束的范圍窄，因此在拍攝廣角的情況下，必須一邊使承載了樣本的工作臺移動，一邊拍攝非常多的圖像。

在普通的廣角圖像的生成方法中，首先在維持重疊區域的同時移動拍攝位置而拍攝廣角區域，取得多張拍攝圖像。接著，計算相鄰的拍攝圖像之間的對應點對，根據這些對應點對計算拍攝圖像之間的相對位置偏差量并連接起來，由此生成廣角圖像。但是，由于根據計算出的對應點對生成廣角圖像，因此存在以下的問題：在計算出錯誤的對應點對的情況下，廣角圖像中的拍攝圖像之間的位置偏差量變大。作為應對該問題的方法，在下述的專利文獻1中，記載了以下的方法：在一次性生成的廣角圖像中，受理變更拍攝圖像之間的重疊區域的相對位置的指示，根據所受理的指示重新生成廣角圖像。

具體地說，在專利文獻1中，關于信息處理方法，記載了“上述存儲部存儲通過對被攝體進行拍攝使得多個拍攝區域相互重疊而得到的多個部分圖像、按上述多個部分圖像中的相鄰的2個部分圖像中的每一個計算出的、以及該相鄰的2個部分圖像的相對位置偏差信息。上述判定部根據上述存儲的多個部分圖像，判定用于生成作為上述被攝體的圖像而顯示的區域的圖像即顯示區域圖像的、一個以上的顯示用部分圖像。在通過上述判定部判定出多個顯示用部分圖像的情況下，上述生成部根據上述存儲的位置偏差信息，將該多個顯示用部分圖像相互連接起來，生成上述顯示區域圖像”。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-058124號公報

發明內容

發明要解決的問題

但是，在專利文獻1記載的方法中，對相鄰的拍攝圖像之間重疊的重疊區域的整體進行相對位置偏差量的修正，因此能夠修正重疊區域整體的位置偏差量，另一方面，存在以下的問題，即難以高精度地修正局部區域的位置偏差量、特別是包含各種圖像畸變的局部區域的位置偏差量。

本發明鑒于上述問題，其目的在于：提供一種電荷粒子顯微鏡裝置，其在生成的廣角圖像中殘存局部的位置偏差的情況下，也能夠促使進行用于修正局部位置偏差的用戶輸入，并根據該用戶輸入，重新生成在重疊區域的局部區域中位置偏差量也小的廣角圖像。

解決問題的方案