[發明專利]電荷粒子顯微鏡裝置和廣角圖像生成方法

有效

• 申請號: 201780094577.5
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN111095351B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 小林光俊;田中麻紀;星野吉延
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G06T5/50
• 分類號: G06T5/50;G06T3/00;G06T7/30
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;范勝杰

1.一種電荷粒子顯微鏡裝置，其具備電荷粒子顯微鏡、圖像處理部，其特征在于，

上述電荷粒子顯微鏡維持相鄰的拍攝圖像重疊的區域即重疊區域并拍攝多張拍攝圖像，

就上述圖像處理部而言，

在上述重疊區域中將對應點對設定在上述相鄰的拍攝圖像之間，

對每個上述拍攝圖像設定規定的限制條件，

根據上述對應點對和上述限制條件，計算上述拍攝圖像之間的相對位置偏差量，根據計算出的上述位置偏差量，修正上述拍攝圖像之間的相對位置偏差并連接起來，由此生成一張廣角圖像，

在上述重疊區域中設定的多個局部區域中計算拍攝圖像的連接的可靠度，

向用戶通知上述可靠度低的上述局部區域或包含上述局部區域的重疊區域、上述設定好的對應點對和上述限制條件，

上述電荷粒子顯微鏡裝置還具備：輸入受理部，其受理上述對應點對和上述限制條件的變更，

就上述圖像處理部而言，

根據上述可靠度顯示，受理上述設定好的對應點對和上述限制條件中的一個以上的上述對應點對和上述限制條件的變更，

設定受理了變更的上述對應點對和上述限制條件，

根據變更后的上述對應點對和上述限制條件，計算拍攝圖像之間的相對位置偏差量，根據計算出的上述位置偏差量，修正上述拍攝圖像之間的相對位置偏差并連接起來，由此生成一張廣角圖像。

2.根據權利要求1所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

就上述圖像處理部而言，

在根據變更后的上述對應點對和上述限制條件生成的上述廣角圖像的上述重疊區域中設定的上述局部區域中，再次計算上述拍攝圖像的連接的可靠度，

向用戶通知再次計算出的上述可靠度低的上述局部區域或包含上述局部區域的重疊區域、上述設定好的對應點對和上述限制條件。

3.根據權利要求1所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述圖像處理部根據上述修正后的上述拍攝圖像的倍率、旋轉、畸變的修正程度中的至少一個，計算上述可靠度。

4.根據權利要求1所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述電荷粒子顯微鏡裝置還具備：輸出部，其生成顯示到規定的輸出裝置的畫面信息，

上述圖像處理部經由上述輸出部，顯示受理用戶刪除上述設定好的對應點對和上述限制條件、或追加新的對應點對和限制條件的畫面信息。

5.根據權利要求4所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述圖像處理部經由上述輸入受理部，針對上述拍攝圖像，受理倍率、旋轉、畸變的程度中的至少任意一個的追加作為限制條件的變更。

6.根據權利要求4所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述圖像處理部經由上述輸出部，顯示成為上述用戶追加的新的對應點對的候選的對應點對。

7.根據權利要求1所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述圖像處理部確定上述局部區域的構造信息，根據所確定的上述構造信息，計算上述可靠度。

8.根據權利要求1所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述圖像處理部顯示上述可靠度低的因素。

9.根據權利要求8所述的電荷粒子顯微鏡裝置，其特征在于，

上述圖像處理部根據上述可靠度和上述可靠度低的因素，使所顯示的內容不同。

10.一種電荷粒子顯微鏡裝置的廣角圖像生成方法，其特征在于，上述電荷粒子顯微鏡裝置進行以下的步驟：

維持相鄰的拍攝圖像重疊的區域即重疊區域并拍攝多張拍攝圖像的步驟；

在上述重疊區域中將對應點對設定在上述相鄰的拍攝圖像之間的步驟；

對每個上述拍攝圖像設定規定的限制條件的步驟；

根據上述對應點對和上述限制條件，計算上述拍攝圖像之間的相對位置偏差量，根據計算出的上述位置偏差量，修正上述拍攝圖像之間的相對位置偏差并連接起來，由此生成一張廣角圖像的步驟；

在上述重疊區域中設定的多個局部區域中計算拍攝圖像的連接的可靠度的步驟；

向用戶通知上述可靠度低的上述局部區域或包含上述局部區域的重疊區域、上述設定好的對應點對和上述限制條件的步驟，

上述廣角圖像生成方法還進行以下的步驟：

根據上述可靠度顯示，受理上述設定好的對應點對和上述限制條件中的一個以上的上述對應點對和上述限制條件的變更的輸入受理步驟；

設定受理了變更的上述對應點對和上述限制條件的步驟；

根據變更后的上述對應點對和上述限制條件，計算拍攝圖像之間的相對位置偏差量，根據計算出的上述位置偏差量，修正上述拍攝圖像之間的相對位置偏差并連接起來，由此生成一張廣角圖像的步驟。