[發明專利]柔性OLED器件的制造方法以及制造裝置

在審

• 申請號: 201780094485.7
• 申請日: 2017-10-26
• 公開（公告）號: CN111226503A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 岸本克彥;田中康一
• 申請（專利權）人: 堺顯示器制品株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 王娟

根據本公開的柔性OLED器件的制造方法，在對層疊構造體(100)的樹脂膜(30)的中間區域(30i)和柔性基板區域(30d)進行了分割后，通過激光照射柔性基板區域(30d)與玻璃基座(10)之間的界面。在使層疊構造體(100)接觸了臺部(210)的狀態下，將層疊構造體(100)分離為第一部分(110)和第二部分(120)。第一部分(110)包括與臺部(210)接觸的多個OLED器件(1000)，OLED器件(1000)具有多個功能層區域(20)和柔性基板區域(30d)。第二部分(120)包括玻璃基座(10)和中間區域(30i)。通過激光照射的工序包括以下工序，即，從排列的多個激光源形成上述激光，使激光對中間區域(30i)與玻璃基座(10)之間的界面的至少一部分的照射強度比激光對柔性基板區域(30d)與玻璃基座(10)之間的界面的照射強度降低。

技術領域

本公開涉及柔性OLED器件的制造方法以及制造裝置。

背景技術

柔性顯示器的典型例具備由聚酰亞胺等合成樹脂形成的薄膜(以下稱為“樹脂膜”)、被樹脂膜支承的TFT(Thin Film Transistor)以及OLED(Organic Light EmittingDiode)等元件。樹脂膜作為柔性基板發揮功能。構成OLED的有機半導體層容易由于水蒸氣而劣化，因此柔性顯示器由氣體阻擋膜(密封用薄膜)密封。

上述的柔性顯示器的制造使用樹脂膜形成于上表面的玻璃基座進行。玻璃基座在制造工序中作為將樹脂膜的形狀維持為平面狀的支承體(載體)發揮功能。通過在樹脂膜上形成TFT以及OLED等元件以及氣體阻擋膜等，從而在被玻璃基座支承的狀態下實現柔性OLED器件的構造。其后，將柔性OLED器件從玻璃基座剝離，獲得柔軟性。能夠將排列有TFT以及OLED等元件的部分作為整體稱為“功能層區域”。

根據現有技術，在從玻璃基座剝離了包括多個柔性OLED器件的片狀的構造物后，相對于該片狀的構造物進行光學部件等的安裝。其后，從片狀的構造物分割多個柔性器件。該分割例如通過激光束的照射來進行。

專利文獻1公開為了將各個柔性OLED器件從玻璃基座(支承基板)剝離而通過激光(剝離光)照射各個柔性OLED器件與玻璃基座之間的界面的方法。根據專利文獻1公開的方法，在剝離光照射后，分割成各個柔性OLED器件，將各個柔性OLED器件從玻璃基座剝離。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1:日本特開2014-48619號公報

發明內容

本發明所要解決的技術問題

根據現有的制造方法，在包括多個柔性OLED器件的片狀的構造物安裝了例如密封薄膜、偏振板以及/或者散熱片等高價的部件后，進行基于激光束的照射的分割，因此通過激光束的照射而分割的不需要部分即最終沒有構成OLED器件的部分完全是浪費的。另外，也存在以下課題，即，在從玻璃基座剝離后，不易處理不具有剛性的多個柔性OLED器件。

本公開提供能夠解決上述課題的柔性OLED器件的制造方法以及制造裝置。

解決問題的方案