[發(fā)明專利]柔性OLED器件的制造方法以及制造裝置

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• 申請日: 2017-10-26
• 公開（公告）號: CN111226503A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設計）人: 岸本克彥;田中康一
• 申請（專利權）人: 堺顯示器制品株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權代理有限公司 44334
• 代理人: 王娟

1.一種柔性OLED器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：

準備層疊構造體的工序，其中，所述層疊構造體是具有第一表面和第二表面的層疊構造體，且具備玻璃基座、功能層區(qū)域、合成樹脂薄膜以及保護片，

所述玻璃基座對所述第一表面進行規(guī)定，

所述功能層區(qū)域包括TFT層以及OLED層，

所述合成樹脂薄膜為位于所述玻璃基座與所述功能層區(qū)域之間并固定于所述玻璃基座的合成樹脂薄膜，且包括支承所述功能層區(qū)域的柔性基板區(qū)域和包圍所述柔性基板區(qū)域的中間區(qū)域，

所述保護片覆蓋所述功能層區(qū)域，并對所述第二表面進行規(guī)定；

對所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域和所述柔性基板區(qū)域進行分割的工序；

通過激光照射所述合成樹脂薄膜與所述玻璃基座之間的界面的工序；以及

通過在使所述層疊構造體的所述第二表面接觸于臺部的狀態(tài)下擴大從所述臺部至所述玻璃基座的距離從而將所述層疊構造體分離為第一部分和第二部分的工序，

所述層疊構造體的所述第一部分包括與所述臺部接觸的OLED器件，所述OLED器件具有所述功能層區(qū)域和所述合成樹脂薄膜的所述柔性基板區(qū)域，

所述層疊構造體的所述第二部分包括所述玻璃基座和所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域，

通過所述激光照射所述合成樹脂薄膜與所述玻璃基座之間的界面的工序包括以下工序：

通過排列的多個激光源形成所述激光，使所述激光對所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域與所述玻璃基座之間的界面的至少一部分的照射強度比所述激光對所述合成樹脂薄膜的所述柔性基板區(qū)域與所述玻璃基座之間的所述界面的照射強度降低的工序。

2.根據(jù)權利要求1所述的制造方法，其特征在于，

所述合成樹脂薄膜的所述柔性基板區(qū)域的個數(shù)以及所述層疊構造體的所述第一部分所含的所述OLED器件的個數(shù)均為多個。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，

所述多個激光源分別是多個半導體激光元件，

通過所述激光照射所述合成樹脂薄膜與所述玻璃基座之間的界面的工序包括：通過對分別在所述多個半導體激光元件流動的驅動電流進行調(diào)制從而在時間上以及/或者空間上調(diào)制所述激光的照射強度。

4.根據(jù)權利要求3所述的制造方法，其特征在于，

所述多個半導體激光元件以一列或者多列排列，

所述激光的照射強度在所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域與所述玻璃基座之間的界面中具有四個以上的峰值。

5.根據(jù)權利要求1～4中任一項所述的制造方法，其特征在于，

所述激光是沿與所述玻璃基座的外緣平行的第一方向延伸的線束，

通過所述激光照射所述合成樹脂薄膜與所述玻璃基座之間的界面的工序是，通過使由所述激光照射的所述界面上的照射區(qū)域在與所述第一方向交叉的第二方向上移動來執(zhí)行。

6.根據(jù)權利要求5所述的制造方法，其特征在于，

所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域與所述玻璃基座之間的界面的所述至少一部分包括沿著所述第一方向延伸的多個平行的條紋區(qū)域。

7.根據(jù)權利要求5或6所述的制造方法，其特征在于，

所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域與所述玻璃基座之間的界面的所述至少一部分包括沿著所述第二方向延伸的多個平行的條紋區(qū)域。

8.根據(jù)權利要求1～7中任一項所述的制造方法，其特征在于，

所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域與所述玻璃基座之間的界面的所述至少一部分具有所述中間區(qū)域的寬度的50％以上的寬度。

9.根據(jù)權利要求1～8中任一項所述的制造方法，其特征在于，

所述合成樹脂薄膜的所述中間區(qū)域與所述玻璃基座之間的界面的所述至少一部分具有1mm以上的寬度。