[發明專利]離子銑削裝置

有效

• 申請號: 201780094365.7
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN111095474B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 金子朝子;高須久幸
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/30
• 分類號: H01J37/30;H01J37/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

1.一種離子銑削裝置，其特征在于，

所述離子銑削裝置具有：

腔室；

非磁性材料的試樣臺，其在所述腔室內載置試樣；

遮蔽板，其載置于所述試樣；以及

離子源，其以與所述試樣臺的上表面對置的方式配置，并照射離子束，

在所述試樣臺的上表面設置有將第一磁鐵配置為能夠裝卸的非磁性材料的磁鐵壓板，并且在所述試樣臺配置有所述第一磁鐵，所述試樣載置于所述磁鐵壓板的上表面。

2.根據權利要求1所述的離子銑削裝置，其特征在于，

在所述試樣的側方配置有第二磁鐵。

3.根據權利要求2所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述第一磁鐵配置于所述試樣臺，且所述第二磁鐵配置于所述試樣的側方。

4.根據權利要求1所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述離子銑削裝置具有將所述第一磁鐵保持為能夠裝卸的保持架。

5.根據權利要求2所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述離子銑削裝置具備所述第二磁鐵的移動機構。

6.根據權利要求1所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述第一磁鐵為永磁鐵。

7.根據權利要求6所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述永磁鐵的最大磁力為300～400高斯程度。

8.根據權利要求1所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述磁鐵壓板具有空腔，

在所述磁鐵壓板的空腔中，能夠對所述第一磁鐵的配置位置進行調整。

9.根據權利要求1所述的離子銑削裝置，其特征在于，

所述試樣臺具有磁鐵保持部，

通過拆下所述試樣臺的所述磁鐵保持部，從而所述第一磁鐵能夠從所述試樣臺的下方卸下。