[發明專利]四極桿質譜分析裝置

有效

• 申請號: 201780091831.6
• 申請日: 2017-06-29
• 公開（公告）號: CN110720133B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 下村學
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01J49/06
• 分類號: H01J49/06;G01N27/62;H01J49/42
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種四極桿質譜分析裝置，將四極桿濾質器用作根據質荷比分離測定對象的離子的質量分離器，所述四極桿質譜分析裝置的特征在于，具備：

a)檢測部，其對通過所述四極桿濾質器而來的離子進行檢測；

b)電壓調整部，其對決定所述檢測部的增益的電壓和施加于電極的電壓中的任一個電壓進行調整，所述電極在穿過了所述四極桿濾質器的離子到達該檢測部為止的路徑中形成電場；以及

c)控制部，其利用所述電壓調整部調整電壓，以使利用所述四極桿質譜分析裝置對規定的試樣進行測定所得到的實測質譜的至少一部分譜圖案與作為目標的質譜的相應的譜圖案一致或接近。

2.根據權利要求1所述的四極桿質譜分析裝置，其特征在于，

所述檢測部包括轉換打拿極和二次電子倍增管，所述電壓調整部調整對該轉換打拿極施加的電壓。

3.根據權利要求1所述的四極桿質譜分析裝置，其特征在于，

在所述四極桿濾質器的出口與所述檢測部之間還具備電極，該電極用于形成使從該四極桿濾質器的出口射出的離子收斂的電場，所述電壓調整部調整對該電極施加的電壓。

4.根據權利要求1所述的四極桿質譜分析裝置，其特征在于，

在所述四極桿濾質器的出口與所述檢測部之間還具備電極，該電極使用于將離子吸引到該檢測部的電場的狀態變化，所述電壓調整部調整對該電極施加的電壓。

5.根據權利要求1至4中的任一項所述的四極桿質譜分析裝置，其特征在于，

在所述四極桿濾質器與用于生成源自試樣成分的離子的離子源之間還具備離子輸送光學系統，

在由所述電壓調整部調整了電壓時實測質譜的至少一部分圖案與作為目標的質譜的相應的圖案之間的差異不在容許范圍內的情況下，所述控制部調整對所述離子輸送光學系統施加的電壓，以使該差異處于該容許范圍內。