[發明專利]排氣裝置

在審

• 申請號: 201780089140.2
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN110462266A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 雷強;賈社娜;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備(上海)有限公司
• 主分類號: F16K11/085
• 分類號: F16K11/085
• 代理公司: 31100 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陸嘉<國際申請>=PCT/CN2017/

1.一種排氣裝置，其特征在于，包括：

外管，包括管體，管體的側壁設有多個排氣口；

內管，容納在外管的管體內，內管的一端是開口的，內管的另一端是封閉的，內管的側壁設有通孔；以及

致動器，被配置為驅動內管在外管的管體內旋轉以使內管的通孔對上外管的一個排氣口以排放一種氣體，與此同時外管的其他排氣口則由內管的側壁封閉。

2.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，所述外管的多個排氣口的中心位于同一平面上。

3.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，所述內管的通孔和外管的排氣口的尺寸和形狀相同。

4.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，進一步包括進氣管，外管與進氣管固定且內管開口的一端與進氣管連接。

5.根據權利要求4所述的排氣裝置，其特征在于，所述進氣管基本呈L形且包括橫向部分和縱向部分，橫向部分的壁設有排液孔。

6.根據權利要求4所述的排氣裝置，其特征在于，進一步包括第一密封環，設置在外管和進氣管之間。

7.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，所述外管的每個排氣口連接相應的排氣管。

8.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，進一步包括連接軸，連接軸的一端與內管的封閉端固定，連接軸的另一端固定在聯軸器內，致動器連接聯軸器，致動器通過聯軸器和連接軸驅動內管在外管的管體內旋轉。

9.根據權利要求8所述的排氣裝置，其特征在于，進一步包括固定在外管上的蓋板，連接軸穿過蓋板的中心，第二密封環設置在蓋板和外管之間，第三密封環設置在連接軸和蓋板之間。

10.根據權利要求8所述的排氣裝置，其特征在于，進一步包括多個傳感器和檢測板，該多個傳感器和檢測板被配置為在排氣前檢測內管的通孔是否對上了外管的一個排氣口，其中，所述多個傳感器分布在聯軸器周圍，檢測板設置在聯軸器上并且隨著聯軸器一起旋轉，檢測板的外邊緣設有缺口，所述多個傳感器分別對應外管的多個排氣口及初始位置，檢測板的缺口對應內管的通孔，所述多個傳感器檢測檢測板的缺口。

11.根據權利要求10所述的排氣裝置，其特征在于，所述多個傳感器為光電傳感器。

12.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，所述內管的通孔對上外管的相應排氣口后，控制致動器使內管順時針或逆時針方向轉動一定角度以調節排氣的開口尺寸。

13.根據權利要求1所述的排氣裝置，其特征在于，所述排氣口的數量為三個且兩條分別通過每兩個相鄰排氣口中心的軸線之間夾角為120°。

14.一種排氣裝置，其特征在于，包括：

外管，包括管體，管體的側壁設有多個排氣口；

內管，容納在外管的管體內，內管的一端是開口的，內管的另一端是封閉的，內管的側壁設有多個通孔；以及

致動器，被配置為驅動內管在外管的管體內旋轉以使內管的一個通孔對上外管的一個排氣口以排出一種氣體，與此同時外管的其他排氣口由內管的側壁封閉，內管的其他通孔由外管的管體的側壁封閉。

15.根據權利要求14所述的排氣裝置，其特征在于，所述內管的多個通孔豎直排列，外管的多個排氣口位于不同平面且交錯分布。

16.根據權利要求14所述的排氣裝置，其特征在于，所述內管的通孔和外管的排氣口的尺寸和形狀相同。

17.根據權利要求14所述的排氣裝置，其特征在于，進一步包括密封件，設置在兩個相鄰通孔之間。

18.根據權利要求17所述的排氣裝置，其特征在于，所述密封件為o形環或磁流體。