[發明專利]光學布置、特別是光刻系統

有效

• 申請號: 201780087714.2
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN110383174B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: B.蓋爾里希;R.茲韋林;C.塞維奧爾;M.埃拉思;J.普羅希瑙;M.內夫齊;V.庫利茨基;A.洛倫茲;S.沙夫
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B26/08;G02B5/08;G02B7/00;G02B7/182;G02B7/198;G03B27/42;G21K1/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種光學布置，包括：

可移動部件，

至少一個致動器(4)，移動所述部件(3)，以及

至少一個止擋件(6)，具有限制所述部件的移動的止擋面(12)，

其特征在于，

其中所述止擋件(6)具有阻尼裝置(10)，以衰減所述止擋面(12)的移動，

所述止擋件(6)具有繞旋轉軸線(7)可樞轉的杠桿臂(8)，并且當所述杠桿臂(8)繞其旋轉軸線(7)樞轉時，所述止擋面(12)總是以平行方式位移。

2.如權利要求1所述的光學布置，其中所述光學布置用于光刻系統(1)。

3.如權利要求1所述的光學布置，其中所述可移動部件是反射鏡(3)。

4.根據權利要求1所述的光學布置，還包括：

至少一個其他致動器(9)，相對于所述可移動部件(3)移動所述止擋件(6)，以及

至少一個距離傳感器(13)，確定所述止擋件(6)的止擋面(12)和所述可移動部件(3)之間的距離(A)。

5.根據權利要求4所述的光學布置，其中所述距離傳感器(13)配置為無接觸地確定所述止擋件(6)的止擋面(12)和所述可移動部件(3)之間的距離(A)。

6.根據權利要求4所述的光學布置，還包括閉環控制裝置(14)，以控制所述止擋件(6)相對于所述可移動部件(3)的移動的距離(A)小于5毫米。

7.根據權利要求4所述的光學布置，其中所述其他致動器(9)配置為液壓致動器或氣動致動器。

8.一種光學布置，包括：

可移動部件，

至少一個致動器(4)，移動所述部件(3)，以及

至少一個止擋件(6)，具有限制所述部件的移動的止擋面(12)，

其中所述止擋件(6)具有至少一個膜(15)，在所述至少一個膜(15)的一側形成所述止擋面(12)并且在其另一側(16)鄰接空間(18)，所述空間(18)相對于環境密封并且允許流體(21)能夠進入其中，以改變所述膜(15)的曲率(R)。

9.根據權利要求8所述的光學布置，還包括：

至少一個其他致動器(9)，相對于所述可移動部件(3)移動所述止擋件(6)，以及

至少一個距離傳感器(13)，確定所述止擋件(6)的止擋面(12)和所述可移動部件(3)之間的距離(A)。

10.根據權利要求9所述的光學布置，其中所述距離傳感器(13)配置為無接觸地確定所述止擋件(6)的止擋面(12)和所述可移動部件(3)之間的距離(A)。

11.根據權利要求9所述的光學布置，還包括閉環控制裝置(14)，以控制所述止擋件(6)相對于所述可移動部件(3)的移動的距離(A)小于5毫米。

12.根據權利要求9所述的光學布置，其中所述其他致動器(9)配置為液壓致動器或氣動致動器。

13.根據權利要求8或9所述的光學布置，其中所述止擋件(6)具有繞旋轉軸線(7)可樞轉的杠桿臂(8)。

14.一種光學布置，包括：

可移動部件，

至少一個致動器(4)，移動所述部件(3)，以及

至少一個止擋件(6)，具有限制所述部件的移動的止擋面(12)，其中所述可移動部件是反射鏡(3)，

其特征在于，

所述反射鏡(3)具有帶第一基板部分(26a)和第二基板部分(26b)的基板(26)，在所述第一基板部分(26a)上形成反射表面(3a)，其中所述第二基板部分(26b)由具有比所述第一基板部分(26a)更大的彈性模量(E₂)與密度(ρ₂)的比率和/或更大的斷裂長度(L_R2)的材料制成。