[發(fā)明專利]具有輸送鎖定件的光學配置，尤其是光刻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780087378.1
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN110337613B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設計）人: R.茲韋林;S.弗里茨謝;H.瓦格納;F.阿勒斯;J.普羅希瑙;M.埃拉思;V.庫利茨基;M.內(nèi)夫齊
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種光學配置，包含：

第一部件(19)；

第二部件(13)，該第二部件相對于該第一部件(19)是可移動的；以及

至少一個止擋件(20)，具有至少一個止擋面(21a,b)，用以限制該第二部件(13)相對于該第一部件(19)的移動，

其特征在于，

該光學配置具有用以固定該第二部件(13)的固定裝置(23)，該固定裝置至少包含相對于該止擋件(20)的止擋面(21a,b)可移動的固定元件(24)，該固定裝置(23)與該止擋件(20)在空間上分開，以及

該固定元件(24)在固定位置(F)與操作位置(B)之間是可移動的，其中該固定元件(24)在該固定位置處緊靠該第二部件(13)且將該第二部件(13)壓靠在該至少一個止擋件(20)的止擋面(21a,b)上，且該固定元件(24)在該操作位置處與該第二部件(13)隔開。

2.如權利要求1所述的光學配置，其中該光學配置是EUV光刻系統(tǒng)(1)。

3.如權利要求1所述的光學配置，其中該第一部件是承載框。

4.如權利要求1所述的光學配置，其中該第二部件是反射鏡。

5.如權利要求1所述的光學配置，其中該固定元件(24)是可手動地移動的。

6.如權利要求1所述的光學配置，還包含至少一個致動器(27)，用以在該固定位置(F)與該操作位置(B)之間移動該固定元件(24)。

7.如權利要求1所述的光學配置，其中該止擋件(20)包括具有頭部區(qū)域(20b)的桿狀部分(20a)，至少一個止擋面(21a,b)形成于該頭部區(qū)域上，以及其中該固定元件(24)在該桿狀部分(20a)的縱向方向(Z)上被可位移地引導。

8.如權利要求7所述的光學配置，其中該固定元件(24)以環(huán)狀方式環(huán)繞該止擋件(20)的桿狀部分(20a)。

9.如權利要求7或8所述的光學配置，其中該第二部件(13)具有凹部(22)，該止擋件(20)在該凹部中與該頭部區(qū)域(20b)接合。

10.如權利要求9所述的光學配置，其中該固定元件(24)被設計為將該止擋件(20)的頭部區(qū)域(20b)展開抵靠該凹部(22)的側表面(22a)。

11.如權利要求10所述的光學配置，其中該止擋件(20)的頭部區(qū)域(20b)具有相對彼此可移動的至少兩個頭部部分(31a,b)，該固定元件(24)在該至少兩個頭部部分之間接合于該固定位置(F)。

12.如權利要求1所述的光學配置，其中所述光學配置是EUV光刻系統(tǒng)，并且還包含：致動器(34)，該致動器具有驅動器(36)，以在固定位置(F)與操作位置(B)之間移動該止擋件(20)，其中該止擋面(21a)在該固定位置處緊靠該第二部件(13)，且該止擋面(21a)在該操作位置處與該第二部件(13)隔開，該致動器(34)被設計為在該驅動器(36)關閉時保持該止擋件(20)于該固定位置(F)。

13.如權利要求12所述的光學配置，其中該止擋件(20)具有接觸面(48)，該接觸面在該操作位置(B)緊靠該第一部件(19)。

14.如權利要求13所述的光學配置，其中該接觸面(48)形成于該止擋件(20)與該止擋面(21)相對的一側。

15.如權利要求12所述的光學配置，其中該致動器(34)具有齒輪機構，用于該驅動器(36)到該止擋件(20)的力傳輸。