[發明專利]壓印設備

在審

• 申請號: 201780079812.1
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN110226128A
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 亞歷山大·里切斯;安德魯·A·布朗;朱莉婭·莫里森;韋恩·N·喬治;蒂莫西·J·默克爾;奧德麗·羅斯·扎克
• 申請（專利權）人: 伊魯米那股份有限公司;伊魯米納劍橋有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;C09D183/04
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 牟靜芳;鄭霞

一種壓印設備包括具有在其中限定的多于一個的納米特征的硅母體。抗粘層涂覆硅母體，該抗粘層包括具有環硅氧烷的分子，該環硅氧烷具有至少一個硅烷官能團。一種方法包括通過以下來形成母體模板：在硅母體上沉積制劑，該硅母體包括在其中限定的多于一個的納米特征，該制劑包含溶劑和具有環硅氧烷的分子，該環硅氧烷具有至少一個硅烷官能團；以及固化該制劑，從而在硅母體上形成抗粘層，該抗粘層包含所述分子。所述方法還包括在母體模板的抗粘層上沉積硅基工作印模材料；固化所述硅基工作印模材料以形成包括該多于一個的納米特征的復制陰模的工作印模；以及從母體模板中釋放所述工作印模。

相關申請的交叉引用

本申請要求2016年12月22日提交的美國臨時申請序號62/438,237的權益，該美國臨時申請的內容通過引用以其整體并入本文。

背景

納米壓印技術(nano-imprinting technology)能夠實現納米結構的經濟且有效的生產。納米壓花平版印刷術(nano-embossing lithography)通過具有納米結構的印模(stamp)利用抗蝕劑材料的直接機械變形，隨后通過蝕刻工藝將納米結構從印模轉移至基底。

流動池(flow cell)是允許流體流過基底內的通道或井(well)的裝置。可用于核酸分析方法中的圖案化的流動池包括在惰性隙間區域(interstitial region)內活性表面的離散井。這樣的圖案化的流動池可用于生物陣列。

生物陣列是用于檢測和分析包括脫氧核糖核酸(DNA)和核糖核酸(RNA)的分子的多種工具之一。在這些應用中，陣列被設計成包括用于在人類和其他生物體的基因中存在的核苷酸序列的探針。例如，在某些應用中，單獨的DNA和RNA探針可以被附接在陣列支撐物上的幾何網格(geometric grid)中(或隨機)的小位置。例如來自已知的人或生物體的測試樣品可以暴露于網格，使得互補片段在陣列中的單獨的位點與探針雜交(hybridize)。然后可以通過掃描位點上特定頻率的光來檢查陣列，以通過片段雜交的位點的熒光來識別在樣品中存在哪些片段。

生物陣列可以用于基因測序。通常，基因測序涉及確定一段基因材料例如一段DNA或RNA的片段中核苷酸或核酸的順序。越來越長的堿基對序列正在被分析，并且所得到的序列信息可以用于各種生物信息學方法中，以將片段邏輯地裝配(logically fit)在一起，以便可靠地確定片段所衍生自的廣泛長度的基因材料的序列。已經開發了自動化的基于計算機的特征片段的檢查，并且已經被用于基因組作圖、基因及其功能的識別、某些狀況和疾病狀態的風險評估等。除了這些應用之外，生物陣列可以用于檢測和評估寬范圍的分子、分子家族、基因表達水平、單核苷酸多態性和基因分型。

概述

壓印設備的實例包括具有在其中限定的多于一個的納米特征(nanofeature)的硅母體(silicon master)。示例性的抗粘層(anti-stick layer)涂覆硅母體，該抗粘層包括具有環硅氧烷的分子，該環硅氧烷具有至少一個硅烷官能團。

方法的實例包括通過以下來形成母體模板：在硅母體上沉積制劑，所述硅母體包括在其中限定的多于一個的納米特征，所述制劑包含溶劑和具有環硅氧烷的分子，所述環硅氧烷具有至少一個硅烷官能團；以及固化所述制劑，從而在硅母體上形成抗粘層，所述抗粘層包含所述分子。所述方法還包括在母體模板的抗粘層上沉積硅基工作印模材料；固化所述硅基工作印模材料以形成包括所述多于一個的納米特征的復制陰模(negativereplica)的工作印模；以及從所述母體模板中釋放所述工作印模。

附圖簡述

通過參考以下詳細描述和附圖，本公開內容的實例的特征和優點將變得明顯，在附圖中，相似的參考數字對應于相似的但可能不相同的部件。為了簡潔起見，具有前述功能的參考數字或特征可以結合或可以不結合其中它們出現的其他附圖來描述。

圖1是示例性的硅主晶片(silicon master wafer)的頂視圖；