[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體裝置及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780078209.1
• 申請(qǐng)日: 2017-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110088587B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤枝真理子;馬渡和明;生駒龍?zhí)?/a>;平澤憲也;川野晉司
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社電裝
• 主分類(lèi)號(hào): G01L9/00
• 分類(lèi)號(hào): G01L9/00;G01L19/06;H01L29/84
• 代理公司: 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 白麗

本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具備形成于基板(1、12)的表面的襯墊(3)、將襯墊(3)與外部的電路連接的接合線(xiàn)(5)以及樹(shù)脂層(6)，所述樹(shù)脂層(6)至少將襯墊(3)與接合線(xiàn)(5)的連接部覆蓋并且使基板中的襯墊(3)的外側(cè)的部分的至少一部分露出。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考

本申請(qǐng)基于2016年12月20日申請(qǐng)的日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)柕?016-246981號(hào)和2017年3月27日申請(qǐng)的日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)柕?017-61559號(hào)，其記載內(nèi)容通過(guò)參照而納入于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置及其制造方法，特別適宜適用于具備輸出與所施加的物理量相應(yīng)的信號(hào)的傳感器元件、用于讀取傳感器元件的輸出信號(hào)的襯墊和將襯墊與外部的電路連接的接合線(xiàn)的物理量傳感器。

背景技術(shù)

以往，例如在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中提出了一種壓力傳感器，其具備形成于膜片上的應(yīng)變儀和形成于膜片的外側(cè)的襯墊，其包含膜片及襯墊的區(qū)域的表面被軟質(zhì)的凝膠狀涂敷樹(shù)脂覆蓋。在該壓力傳感器中，作為凝膠狀涂敷樹(shù)脂，使用了氟系凝膠。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2001-116639號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

氟系凝膠由于液體的藥品或水的透過(guò)率低，所以通過(guò)將壓力傳感器以氟系凝膠覆蓋，能夠抑制由液體引起的襯墊的腐蝕。然而，凝膠狀物質(zhì)由于氣體的藥品或水蒸汽的透過(guò)率不充分低，所以有可能因透過(guò)凝膠后的氣體而產(chǎn)生襯墊的腐蝕。

作為抑制氣體的透過(guò)的方法，考慮了用液體及氣體的透過(guò)率低的樹(shù)脂材料來(lái)代替這樣的凝膠將壓力傳感器覆蓋。但是，液體及氣體的透過(guò)率低的樹(shù)脂材料一般彈性模量高，若將彈性模量高的材料涂布于膜片上，則傳感器特性發(fā)生變動(dòng)。

另外，在除壓力傳感器以外的物理量傳感器中，若為了抑制襯墊的腐蝕而用液體及氣體的透過(guò)率低的樹(shù)脂材料將傳感器覆蓋，則也有可能傳感器特性發(fā)生變動(dòng)。

另外，在除物理量傳感器以外的半導(dǎo)體裝置中，若為了抑制襯墊的腐蝕而用液體及氣體的透過(guò)率低的樹(shù)脂材料將基板整體覆蓋，則也有可能襯墊以外的部分的特性發(fā)生變動(dòng)。

本發(fā)明的第1目的是提供能夠抑制襯墊的腐蝕及傳感器特性的變動(dòng)的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。另外，第2目的是提供能夠抑制襯墊的腐蝕及除襯墊以外的部分的特性的變動(dòng)的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)觀(guān)點(diǎn)，具備形成于基板的表面的襯墊和將襯墊與外部的電路連接的接合線(xiàn)的半導(dǎo)體裝置具備樹(shù)脂層，上述樹(shù)脂層至少將襯墊與接合線(xiàn)的連接部覆蓋并且使基板中的襯墊的外側(cè)的部分的至少一部分露出。

根據(jù)該半導(dǎo)體裝置，由于容易產(chǎn)生腐蝕的襯墊與接合線(xiàn)的連接部被樹(shù)脂層覆蓋，所以能夠抑制襯墊的腐蝕。另外，由于樹(shù)脂層按照使基板中的襯墊的外側(cè)的部分的至少一部分露出的方式形成，所以即使是由液體及氣體的透過(guò)率低的材料、即彈性模量高的材料來(lái)構(gòu)成樹(shù)脂層的情況下，也能夠抑制除襯墊以外的部分的特性的變動(dòng)。

另外，根據(jù)其它的觀(guān)點(diǎn)，半導(dǎo)體裝置具備形成于基板上且輸出與所施加的物理量相應(yīng)的信號(hào)的傳感器元件，襯墊為用于讀取傳感器元件的輸出信號(hào)的構(gòu)件，樹(shù)脂層至少將襯墊與接合線(xiàn)的連接部覆蓋并且使傳感器元件的至少一部分露出。

根據(jù)該半導(dǎo)體裝置，由于容易產(chǎn)生腐蝕的襯墊與接合線(xiàn)的連接部被樹(shù)脂層覆蓋，所以能夠抑制襯墊的腐蝕。另外，由于樹(shù)脂層按照使傳感器元件的至少一部分露出的方式形成，所以即使是由液體及氣體的透過(guò)率低的材料、即彈性模量高的材料來(lái)構(gòu)成樹(shù)脂層的情況下，也能夠抑制傳感器元件的特性的變動(dòng)。

另外，根據(jù)其它觀(guān)點(diǎn)，半導(dǎo)體裝置以樹(shù)脂層作為第1樹(shù)脂層，至少在襯墊的上部具備形成于第1樹(shù)脂層的上部的第2樹(shù)脂層，第1樹(shù)脂層與第2樹(shù)脂層相比液體及氣體的透過(guò)量少。