[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780078209.1
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN110088587B
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤枝真理子;馬渡和明;生駒龍?zhí)?/a>;平澤憲也;川野晉司
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社電裝
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L19/06;H01L29/84
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 白麗

1.一種半導(dǎo)體裝置，其是具備形成于基板(1、12)的表面的襯墊(3)和將所述襯墊與外部的電路連接的接合線(5)的半導(dǎo)體裝置，

所述半導(dǎo)體裝置進(jìn)一步具備樹脂層(6)和傳感器元件(2)，所述樹脂層(6)至少將所述襯墊與所述接合線的連接部覆蓋并且使所述基板中的所述襯墊的外側(cè)的部分的至少一部分露出，所述傳感器元件(2)形成于所述基板上且輸出與所施加的物理量相應(yīng)的信號，其中，

所述襯墊為用于讀取所述傳感器元件的輸出信號的構(gòu)件，

所述樹脂層至少將所述襯墊與所述接合線的連接部覆蓋并且使所述傳感器元件的至少一部分露出，

以所述樹脂層作為第1樹脂層，至少在所述襯墊的上部具備形成于所述第1樹脂層的上部的第2樹脂層(7)，所述第1樹脂層與所述第2樹脂層相比液體及氣體的透過量少，

樹脂層為第1樹脂層，第2樹脂層為保護(hù)膜，

所述第2樹脂層比所述第1樹脂層容易變形，抑制除襯墊以外的部分的特性的變動(dòng)，抑制傳感器元件的特性的變動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述樹脂層僅形成于所述傳感器元件的外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，

所述傳感器元件具備因測定介質(zhì)的壓力而發(fā)生變形的膜片(14)，輸出與所述膜片的變形相應(yīng)的信號，

所述襯墊配置于形成有所述膜片的所述基板中的所述膜片的外側(cè)的部分，

基于所述傳感器元件所輸出的信號來檢測所述測定介質(zhì)的壓力。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第2樹脂層除了形成于所述襯墊的上部以外，還形成于所述傳感器元件的上部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第2樹脂層按照至少使所述傳感器元件的一部分露出的方式形成。

6.一種半導(dǎo)體裝置，其是具備形成于基板(1、12)的表面的襯墊(3)和將所述襯墊與外部的電路連接的接合線(5)的半導(dǎo)體裝置，

所述半導(dǎo)體裝置具備樹脂層(6)，所述樹脂層(6)至少將所述襯墊與所述接合線的連接部覆蓋并且使所述基板中的所述襯墊的外側(cè)的部分的至少一部分露出，其中，

以所述樹脂層作為第1樹脂層，至少在所述襯墊的上部具備形成于所述第1樹脂層的上部的第2樹脂層(7)，所述第1樹脂層與所述第2樹脂層相比液體及氣體的透過量少，

所述半導(dǎo)體裝置進(jìn)一步具備形成于所述第1樹脂層的上表面的由對苯二甲基系聚合物構(gòu)成的保護(hù)膜(8)，所述第1樹脂層與所述保護(hù)膜相比液體及氣體的透過量少，

樹脂層為第1樹脂層，第2樹脂層為保護(hù)膜，

所述第2樹脂層比所述第1樹脂層容易變形，抑制除襯墊以外的部分的特性的變動(dòng)，抑制傳感器元件的特性的變動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第1樹脂層由與所述第2樹脂層的材料相比液體及氣體的透過率低的材料構(gòu)成。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第2樹脂層由與所述第1樹脂層的材料相比彈性模量低的材料構(gòu)成。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第2樹脂層按照將所述襯墊中的從所述接合線及所述第1樹脂層露出的部分覆蓋的方式形成。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第2樹脂層按照將所述接合線覆蓋的方式形成。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第2樹脂層具備形成于所述第1樹脂層的上部的第1層(71)和配置于所述第1層的上部的第2層(72)。