[發(fā)明專利]具有改進的頻率性能的測試頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780077138.3
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN110073224B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設計）人: 弗拉維奧·馬焦尼
• 申請（專利權）人: 泰克諾探頭公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京商專永信知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 方挺;侯曉艷

一種測試頭(20)，適合于校驗集成在半導體晶片上的待測試器件的操作，包括至少一個引導件(40，41，42)，所述至少一個引導件(40，41，42)設有適合于容納多個接觸元件(21’，21”，21”’)的多個引導孔(40h，41h，42h)，每個接觸元件(21’，21”，21”’)都包括在第一端部部分(24)和第二端部部分(25)之間延伸的主體(21pr，21pp)。有利地，至少一個引導件(40，41，42)包括至少一個導電部分(30’，30”，30”’)，至少一個導電部分(30’，30”，30”’)包括多個引導孔(40h，41h，42h)的至少一組孔(40’，40”，40”’；41’，41”，41”’；42’，42”，42”’)并且將這些孔彼此電連接，并且易于與接觸元件(21’，21”，21”’)的對應組接觸，所述對應組的接觸元件(21’，21”，21”’)適合于攜帶相同類型的信號。

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于測試集成在半導體襯底上的電子器件的測試頭。更具體地，本發(fā)明設計一種測試頭，該測試頭包括至少一個引導件，該引導件具有多個適用于容納多個接觸元件的引導孔，并且以下描述是參考本申請的領域進行的，其唯一目的在于簡化說明。

現(xiàn)有技術

如廣泛已知的，測試頭(探頭)本質(zhì)上為適用于使微結構(諸如集成在晶片上的電子器件)的多個接觸墊與執(zhí)行工作測試(尤其是電子測試，或一般測試)的測試機器的對應通道電接觸。

在集成器件上執(zhí)行的測試對于在制造步驟中檢測和分隔有缺陷的器件是尤其有用的。通常，測試頭因此被用于在切割并將它們組裝在包括封裝的芯片內(nèi)部之前對集成在晶片上的器件進行電子測試。

通常，測試頭包括由至少一個引導件或至少一對引導件(或支撐件)約束的多個接觸元件或接觸探針，這對引導件(或支撐件)基本上為板狀并且彼此平行。這些引導件包括適合的孔并且彼此以確定距離設置，從而留下用于接觸探針的移動和可能的變形的自由空間或空隙，這些接觸探針可滑動地容納在這些引導孔中。這對引導件具體包括上引導件和下引導件，上引導件和下引導件都包括對應的多個引導孔，在這些引導孔中接觸探針軸向滑動，探針通常由具有良好電學和機械性能的特殊合金線制成。

接觸探針和待測試器件的接觸墊之間的良好連接是由在器件本身上按壓測試頭來保證的，在按壓接觸期間，接觸探針在引導件之間的空隙內(nèi)部經(jīng)歷彎曲并且在對應的引導孔內(nèi)部滑動。這種類型的測試頭通常叫做“豎直探針頭”。

如圖1中示意性示出的，實質(zhì)上，豎直探針測試頭具有間隙，在該間隙中發(fā)生接觸探針的彎曲，可能由探針本身或其引導件適合的構造來輔助該彎曲。

具體地，圖1示意性地示出了測試頭1，測試頭1包括被間隙13分隔的至少一個上引導件2(通常表示為“上?！?以及下引導件(通常表示為“下?！?，至少一個上引導件2和下引導件分別具有多個引導孔4和引導孔5，多個接觸探針6在這些引導孔中滑動，出于簡化的目的，在圖1中僅示出了多個接觸探針中的一個探針。

每個接觸探針6在一端的終止處具有接觸尖端7，接觸尖端7適合于抵靠集成在晶片9上的待測器件的接觸墊8，以在待測器件和測試設備(未示出)之間實施機械和電學接觸，其中這樣的測試頭為測試設備的終端元件。

在此和下文中，術語“接觸尖端”表示適合于接觸待測試的器件的接觸墊的接觸探針的端部區(qū)域或端部部分，這樣的端部區(qū)域或端部部分不必是尖銳的。

在一些情況中，接觸探針在上引導件處固定至測試頭：在這樣的情況中，測試頭被稱作“受阻探針測試頭”。

然而，更加常見是使用具有未固定的探針的測試頭，這些探針可能通過微接觸板的方式與板接合：這些測試頭稱作“非受阻探針測試頭”。微接觸板通常叫做“空間轉(zhuǎn)換器”，這是由于除了接觸探針之外，微接觸板還允許對在其上制造的接觸墊相對于待測試器件的接觸墊在空間上重新分布，特別是放寬墊本身的中心之間的距離約束。