[發明專利]具有改進的頻率性能的測試頭

有效

• 申請號: 201780077138.3
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN110073224B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 弗拉維奧·馬焦尼
• 申請（專利權）人: 泰克諾探頭公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 方挺;侯曉艷

1.一種測試頭(20)，適合于校驗集成在半導體晶片上的待測試器件的操作，所述測試頭(20)包括設有多個引導孔(40h，41h，42h)的至少一個引導件(40，41，42)、以及容納在所述多個引導孔(40h，41h，42h)中的多個接觸元件(21’，21”，21”’)，所述多個接觸元件(21’，21”，21”’)中的每個都包括在第一端部部分(24)和第二端部部分(25)之間延伸的主體(21pr，21pp)，所述測試頭(20)的特征在于：

所述至少一個引導件(40，41，42)包括至少一個第一導電部分(30’)和至少一個第二導電部分(30”)，所述至少一個第一導電部分(30’)包括所述多個引導孔(40h，41h，42h)的至少一個第一組孔(40’，41’，42’)并且電連接容納在所述多個引導孔(40h，41h，42h)的所述至少一個第一組孔(40’，41’，42’)中的對應的第一接觸元件(21’)的組，所述至少一個第二導電部分(30”)包括所述多個引導孔(40h，41h，42h)的至少一個第二組孔(40”，41”，42”)并且電連接容納在所述多個引導孔(40h，41h，42h)的所述至少一個第二組孔(40”，41”，42”)中的對應的第二接觸元件(21”)的組，其中同一組中的接觸元件適合于傳送相同類型的信號，并且其中不同組的接觸元件適合于傳送不同類型的相應信號，

其中，容納在所述多個引導孔(40h，41h，42h)的所述第一組孔(40’，41’，42’)中的所述第一接觸元件(21’)適合于傳送接地信號，以及容納在所述多個引導孔(40h，41h，42h)的所述第二組孔(40”，41”，42”)中的所述第二接觸元件(21”)適合于傳送電力信號，以及

其中，在測試集成在所述半導體晶片上的待測試器件時，包括所述第一導電部分(30’)和所述第二導電部分(30”)的引導件是所述測試頭(20)的下引導件(40)和/或中間引導件(41)。

2.根據權利要求1所述的測試頭(20)，其特征在于，所述第一導電部分(30’)和所述第二導電部分(30”)中的一者形成在所述至少一個引導件(40，41，42)的一面(FA，FB；FC，FD)上，以及所述第一導電部分(30’)和所述第二導電部分(30”)中的另一者形成在所述至少一個引導件(40，41，42)的相對一面(FB，FA；FD，FC) 上。

3.根據權利要求1所述的測試頭(20)，其特征在于，所述至少一個導電部分(30’，30”，30”’)從另外的導電部分分隔和/或被至少一個絕緣區域(31，31’，31”)局部中斷，從而不允許在適合于傳送不同類型的信號的接觸元件之間和/或必須不能短路的接觸元件之間進行電連接。

4.根據權利要求3所述的測試頭，其特征在于，所述至少一個引導件(40，41，42)包括至少一個涂層介電部分，所述至少一個涂層介電部分覆蓋所述至少一個絕緣區域(31，31’，31”)。

5.根據權利要求1所述的測試頭(20)，其特征在于，包括至少一個下引導件(40)、至少一個中間引導件(41)以及至少一個上引導件(42)，所述下引導件(40)和所述中間引導件(41)由第一間隙(32’)彼此分隔，所述中間引導件(41)和所述上引導件(42)由第二間隙(32”)彼此分隔，多個引導件(40，41，42)中的每一個都包括用于容納所述多個接觸元件(21’，21”，21”’)的各自的多個引導孔(40h，41h，42h)，并且所述第一導電部分(30’)和第二導電部分(30”)中的一者形成在所述下引導件(40)的一面(FA，FB)上，以及所述第一導電部分(30’)和第二導電部分(30”)中的另一者形成在所述中間引導件(41)的一面(FC，FD)上。