[發明專利]低顆粒保護的擋板閥

有效

• 申請號: 201780074468.7
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN110023660B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發明（設計）人: C·T·卡爾森;T·J·普萊德;B·B·萊爾頓;A·韋伯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: F16K1/20
• 分類號: F16K1/20;F16K27/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 汪駿飛;侯穎媖

1.一種擋板閥，包括：

殼體，所述殼體具有在所述殼體的第一端處的第一開口和在所述殼體的第二端處的第二開口；

第一擋板，所述第一擋板可樞轉地設置在所述殼體中；

第二擋板，所述第二擋板可樞轉地設置在所述殼體中，所述第一擋板和所述第二擋板可移動以選擇性地打開和關閉所述第一開口和所述第二開口中的至少一個，所述第一擋板和所述第二擋板在打開位置時重疊；以及

在所述第一擋板上的第一密封件和在所述第二擋板上的第二密封件，其中當所述第一擋板和所述第二擋板在打開位置時，所述第一密封件與所述第二密封件重疊。

2.如權利要求1所述的擋板閥，其中當所述第一擋板和所述第二擋板在打開位置時，所述第一擋板和所述第二擋板面對面地定位。

3.如權利要求1所述的擋板閥，其中通過使流體流過形成在所述第一擋板和所述第二擋板中的相應冷卻通道來獨立地冷卻所述第一擋板和所述第二擋板。

4.如權利要求3所述的擋板閥，其中所述第一擋板和所述第二擋板獨立于所述殼體進行冷卻，所述殼體具有形成在所述殼體中的一個或多個冷卻通道。

5.如權利要求1所述的擋板閥，其中所述第一擋板和所述第二擋板中的每個設置在旋轉軸上，所述旋轉軸具有設置在其周圍的密封件，所述密封件將所述殼體的內部容積與所述殼體外部的環境隔離。

6.如權利要求5所述的擋板閥，進一步包括一個或多個傳感器，所述傳感器用于確定所述旋轉軸的位置。

7.如權利要求6所述的擋板閥，其中所述傳感器是光學傳感器。

8.如權利要求5所述的擋板閥，其中所述旋轉軸的軸線是能夠通過低摩擦軸承調整的。

9.如權利要求1所述的擋板閥，其中所述第一擋板或所述第二擋板的一個或多個表面上具有涂層以減少腐蝕。

10.如權利要求1所述的擋板閥，其中所述殼體的所述第一開口和所述殼體的所述第二開口同軸地設置。

11.如權利要求1所述的擋板閥，其中所述殼體包括一個或多個氣體凈化端口，以將氣體從所述殼體排空。

12.如權利要求1所述的擋板閥，其中所述第一擋板包括氣體饋通件，以用于將工藝氣體或凈化氣體供應到處理腔室。

13.一種擋板閥，包括：

殼體，所述殼體具有在所述殼體的第一端處的第一開口和在所述殼體的第二端處的第二開口；

第一擋板，所述第一擋板可樞轉地設置在所述殼體中，所述第一擋板具有耦接到所述第一擋板的密封件，所述密封件接觸所述殼體的內表面，并且在所述第一擋板在關閉位置時密封所述第一開口；以及

第二擋板，所述第二擋板可樞轉地設置在所述殼體中，所述第二擋板在打開位置時定位在所述第一擋板上方，并且在所述關閉位置時定位在所述第二開口上方。

14.一種打開擋板閥的方法，包括：

將第一擋板定位在打開位置，所述第一擋板上具有第一密封件；

將第二擋板定位在所述打開位置，所述第二擋板在所述打開位置時與所述第一擋板重疊，其中所述第二擋板包括第二密封件，所述第二密封件被定位成在所述打開位置時與所述第一擋板接觸，并且在所述第一擋板的所述第一密封件的徑向外側；

當所述第一擋板和所述第二擋板在所述打開位置時，使離子化或自由基化氣體流過所述擋板閥；

在使所述離子化或自由基化氣體流過所述擋板閥之后關閉所述第二擋板；以及

在關閉所述第二擋板之后關閉所述第一擋板。