[發明專利]彈性波裝置、前端電路以及通信裝置

在審

• 申請號: 201780071709.2
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN110024286A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 岸本諭卓;木村哲也
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/64;H03H9/145
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

彈性波裝置(1)具備：壓電基板(11)；以及IDT電極(5)，設置在壓電基板(11)。IDT電極(5)具有：匯流條電極(7a、7c(或7b、7d))，在彈性波傳播方向(D1)上延伸；以及多個電極指(8a(或8b))，與匯流條電極(7a、7c(或7b、7d))連接，并在彈性波傳播方向(D1)的正交方向(D2)上延伸。壓電基板(11)具有沿著彈性波傳播方向(D1)形成的槽(10C、10D)，在正交方向(D2)上從匯流條電極(7a、7c(或7b、7d))觀察，槽(10C(或10D))設置在與形成有多個電極指(8a(或8b))側相反側。

技術領域

本發明涉及具有IDT(InterDigital Transducer；叉指換能器)電極的彈性波裝置、具有該彈性波裝置的前端電路以及通信裝置。

背景技術

以往，作為諧振器、帶通濾波器而廣泛使用彈性波裝置。

作為該彈性波裝置的一個例子，在專利文獻1公開了通過相互對置的一對端面對彈性波進行反射的端面反射型的彈性波裝置。在專利文獻1的彈性波裝置中，通過在彈性波傳播方向上在IDT電極的兩個外側設置槽，從而形成了對置的一對端面。而且，通過使用該一對端面對彈性波進行反射，從而將在彈性波傳播方向上傳播的彈性波封閉在彈性波裝置內。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2005/050836號

發明內容

發明要解決的課題

然而，在專利文獻1所示的彈性波裝置中，雖然能夠將在彈性波傳播方向上傳播的彈性波反射并封閉，但是不能封閉在與彈性波傳播方向不同的方向上傳播的彈性波，存在彈性波泄漏到彈性波裝置的外部這樣的問題。

因此，本發明的目的在于，提供一種能夠抑制在與彈性波傳播方向不同的方向上傳播的彈性波泄漏到外部的彈性波裝置等。

用于解決課題的技術方案

本發明的一個方式涉及的彈性波裝置是具備壓電基板和設置在壓電基板的IDT電極的彈性波裝置，IDT電極具有在彈性波傳播方向上延伸的匯流條電極和與匯流條電極連接并在彈性波傳播方向的正交方向上延伸的多個電極指，壓電基板具有沿著彈性波傳播方向形成的至少一個以上的槽，在正交方向上從匯流條電極觀察，至少一個以上的槽設置在與形成有多個電極指側相反側。

像這樣，彈性波裝置具有沿著彈性波傳播方向形成的槽，因此能夠使用槽對在與彈性波傳播方向不同的方向上傳播的彈性波進行反射。由此，能夠抑制彈性波泄漏到外部。

此外，也可以是，至少一個以上的槽由多個槽構成，多個槽在正交方向上相互對置。

據此，彈性波裝置具有在正交方向上相互對置的多個槽，因此能夠使用槽對在與彈性波傳播方向不同的方向上傳播的彈性波進行反射并將其封閉在多個槽之間。由此，能夠抑制彈性波泄漏到外部。

此外，也可以是，壓電基板具有支承基板、位于支承基板上的壓電層、以及設置在支承基板與壓電層之間的中間層，IDT電極設置在壓電層上，至少一個以上的槽從壓電層形成至到達中間層的至少一部分。

據此，能夠使用槽對在壓電層以及中間層的至少一部分傳播的彈性波進行反射。由此，能夠抑制在與彈性波傳播方向不同的方向上傳播的彈性波泄漏到外部。

此外，也可以是，壓電基板具有支承基板、位于支承基板上的壓電層、以及設置在支承基板與壓電層之間的中間層，IDT電極設置在壓電層上，至少一個以上的槽未形成在壓電層而形成在中間層的至少一部分。

據此，能夠使用槽對在中間層的至少一部分傳播的彈性波進行反射。由此，能夠抑制在與彈性波傳播方向不同的方向上傳播的彈性波泄漏到外部。