[發明專利]溫度檢測裝置

在審

• 申請號: 201780069985.5
• 申請日: 2017-08-21
• 公開（公告）號: CN109952495A
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 莖田啟行;若松俊一;塩原毅;石川貴之
• 申請（專利權）人: 日本電波工業株式會社
• 主分類號: G01K7/32
• 分類號: G01K7/32;H03B5/32;H03H9/205
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

本發明提供一種在基于晶體片的振蕩頻率的變化來檢測溫度時，不會中斷溫度檢測的溫度檢測裝置。在晶體片14上形成第一振動區域40及第二振動區域50，通過開關部SW1～SW3的切換而使第一振動區域40或第二振動區域50以三次諧波或基波振蕩。然后，利用數據處理部6求出第一振動區域的三次諧波或基波各自的頻率變化率F2、F1，并根據其差值來檢測溫度。進而，基于第一振動區域40的頻率的測量結果來監視第一振動區域40的振蕩是否異常，當判斷為異常時，使用第二振動區域50根據同樣的差值(F2'－F1')來檢測溫度。

技術領域

本發明涉及一種使用晶體振蕩子的溫度檢測裝置。

背景技術

使用晶體振蕩子的振蕩裝置例如被用于對便攜終端進行通信的基站或中轉站、或對數字電視(digital television)發送圖像數據的基站或中轉站等，但要求相對于環境溫度的變化而進行穩定的振蕩。因此，例如使用恒溫晶體振蕩子(Oven Controlled CrystalOscillation，OCXO)，但為了高精度地施行加熱器的電力，需要生成與放置振蕩裝置的環境的溫度準確地對應的信號。而且，在使用溫度補償晶體振蕩子(Temperature CompensatedCrystal Oscillation，TCXO)時，為了補償向包含晶體振蕩子的電路供給的設定電壓，需要生成與溫度準確地對應的信號。

進而，在半導體元件的制造工序中，使用利用抗蝕劑(resist)等化學液來形成涂布膜的裝置、對涂布膜進行加熱處理的裝置。在這種裝置中，由于三維元件的開發等，從準確地控制涂布膜的膜厚的面內均勻性的觀點來看，要求準確地測定處理環境溫度。

但是，若成為測定對象的溫度范圍廣，則擔心尤其在高溫區域或低溫區域中，晶體振蕩子的振蕩頻率發生所謂頻率跳變(frequency jump)而無法測定。

在專利文獻1中記載了下述技術，即：在晶體振蕩子上設置兩對電極而形成兩個振動區域，針對其中一個振動區域的三次高階諧波(基波的三次諧波)與另一振動區域的三次高階諧波，檢測頻率的差值、或相對于基準溫度的頻率變化率的差值，將其檢測值作為晶體振蕩子的溫度來進行操作。但是，關于產生發生頻率跳變而溫度測定中斷，擾亂振蕩頻率等不良狀況的擔憂，則并未關注。

而且，在專利文獻2中記載了使用一個晶體振蕩子，測定兩個振動模式各自的共振頻率的變化并把握其變化作為溫度變化的技術，但并非可消除所述擔憂的技術。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2012-170050號公報

專利文獻2：日本專利特開2004-184256號公報

發明內容

發明所要解決的問題

本發明是鑒于此種情況而成，其目的在于提供一種在基于晶體片的振蕩頻率的變化來檢測溫度時，不會中斷溫度檢測的溫度檢測裝置。

解決問題的技術手段

本發明的特征在于包括：

第一振動區域，由分別設于晶體片的一面側及另一面側的第一電極所夾持；

第二振動區域，由分別設于晶體片的一面側及另一面側的第二電極所夾持；

基波振蕩電路，用于使所述第一振動區域或所述第二振動區域以基波振蕩；

高階諧波振蕩電路，用于使所述第一振動區域或所述第二振動區域以高階諧波振蕩；

頻率測量部，測量所述基波振蕩電路或所述高階諧波振蕩電路的振蕩頻率；