[發明專利]襯底處理設備

在審

• 申請號: 201780069173.0
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN109923657A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: J.A.卡文斯;L.F.沙羅克;K.M.勒圖爾納;S.麥金尼;D.雅琴卡
• 申請（專利權）人: 布魯克斯自動化公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 佘鵬;傅永霄

一種襯底處理設備，包括：框架；以及至少一個襯底輸送臂，其具有至少一個末端執行器，每個末端執行器具有：基部；安裝到所述基部并從所述基部懸垂的第一和第二襯底支撐齒，其中，所述第一和第二襯底支撐齒中的至少一個可相對于所述基部移動，所述第一和第二襯底支撐齒中的每一個具有相應的襯底接觸件，所述襯底接觸件構造成以所述第一和第二襯底支撐齒的所述襯底接觸件之間的襯底支撐座尺寸跨度在所述第一和第二襯底支撐齒的相應接觸件之間接觸并支撐所述末端執行器保持的襯底，以及末端執行器驅動部段，其構造成在運行中改變所述第一和第二襯底支撐齒之間相對于彼此的距離。

相關申請的交叉引用

本申請是2016年9月8日提交的美國臨時專利申請號62/385,150的非臨時申請并且要求其權益，其公開內容通過引用整體地結合于本文中。

技術領域

示例性實施例總體上涉及襯底處理設備，并且更具體而言，涉及對襯底的操縱。

背景技術

操縱具有高度的彎曲、翹曲和尺寸變化中的一種或多種的襯底對機器人襯底操縱設備提出了挑戰。通常，這三種襯底狀態中的每一種都需要專用的末端執行器幾何形狀，使得例如：（1）用于操縱一種尺寸的襯底的末端執行器可能不適合于其他尺寸的襯底；以及（2）用于操縱非彎曲或非翹曲的末端執行器可能不適合于操縱彎曲或翹曲的襯底。

還必須檢測襯底在襯底保持站內的位置和姿態，使得襯底可以利用機器人襯底操縱設備來轉移往返襯底保持站。通常，安裝在末端執行器上、例如安裝在末端執行器的齒（tine）上的映射裝置（mapping device）被用于映射襯底在襯底保持站中的位置和定向，其中，例如，末端執行器使襯底掃描傳感器移動經過襯底保持站中的襯底。在另一個實例中，固定的傳感器可被用于掃描襯底保持站中的襯底，以便確定襯底的位置和定向。然而，當安裝到末端執行器的齒時，襯底掃描傳感器的理想位置可能不利于用于操縱襯底的齒的理想位置。

此外，為映射襯底安裝到末端執行器的映射裝置通常需要接近被映射的襯底。當掃描彎曲和/或翹曲的襯底時，或者當將通過相同的末端執行器來支撐多種尺寸/形狀的襯底時，映射裝置與襯底的接近可能是有問題的。

具有如下末端執行器的解決方案將是有利的，即：該末端執行器可構造并且可重新構造成操縱多種尺寸的襯底、彎曲襯底和/或翹曲襯底。提供如下末端執行器的解決方案也將是有利的，即：該末端執行器可構造并且可重新構造成為相同或不同尺寸的襯底、彎曲襯底和/或翹曲襯底提供理想的襯底映射傳感器位置和理想的襯底操縱齒位置。

附圖說明

結合附圖，在以下描述中解釋所公開的實施例的前述方面和其他特征，附圖中：

圖1A-1H是結合所公開的實施例的各方面的襯底處理設備的示意圖；

圖2A-2E是根據所公開的實施例的各方面的輸送臂的示意圖；

圖3A和圖3B是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖4A和圖4B是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖5A和圖5B是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖6A和圖6B是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖7A和圖7B是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖8A-8C是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖9是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；

圖10A和圖10B是根據所公開的實施例的各方面的襯底輸送設備的一部分的示意圖；